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MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng),產(chǎn)能大,6 英寸運(yùn)營(yíng)成本低。

2. 設(shè)備用途/原理

MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng)產(chǎn)能大,6 英寸運(yùn)營(yíng)成本低薄膜和厚膜外延兼容,工藝穩(wěn)定性高。具備多層外延能力。氣流場(chǎng)和加熱場(chǎng)設(shè)計(jì),工藝性能優(yōu)異。可靠的壓力控制系統(tǒng),成膜質(zhì)量均一性好。兼容 8 英寸。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6、8 英寸,適用材料 碳化硅 SiC,適用工藝 N&P 碳化硅外延適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。碳化硅外延晶片?主要用于以下幾個(gè)方面:?射頻器件?:用于?5G基站、?城際高速鐵路、?新能源汽車充電樁等。??電力電子器件?:用于電動(dòng)汽車,提高續(xù)航能力。?功率電子器件?:如?功率MOSFET、?Schottky二極管等。??光電子器件?:用于?光通信、?激光二極管和?光傳感器等。碳化硅外延晶片在具體領(lǐng)域的應(yīng)用,?5G基站建設(shè)?:碳化硅晶片作為5G芯片的理想襯底,可以減小設(shè)備體積,降低能量損耗,增加設(shè)備在惡劣環(huán)境下的可靠性。?新能源汽車?:用于電動(dòng)汽車的電力電子器件,提高續(xù)航能力約10%。




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