官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

發(fā)布詢價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法腐蝕/刻蝕設(shè)備>NMC 508系列 CCP介質(zhì)刻蝕機(jī)

分享
舉報(bào) 評(píng)價(jià)

NMC 508系列 CCP介質(zhì)刻蝕機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 北方華創(chuàng)
  • 型號(hào) NMC 508系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2024/9/5 10:13:55
  • 訪問(wèn)次數(shù) 168

聯(lián)系方式:謝澤雨查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

NMC 508系列 CCP介質(zhì)刻蝕機(jī),多頻解耦設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的均勻性及高深寬比介質(zhì)刻蝕。

2. 設(shè)備用途/原理

NMC 508系列 CCP介質(zhì)刻蝕機(jī),多頻解耦設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的均勻性及高深寬比介質(zhì)刻蝕。應(yīng)用域廣泛,涵蓋Si power、SiC Power、GaN Power、MEMS、硅光等。工藝種類覆蓋道HM刻蝕、CT刻蝕、Spacer刻蝕,后道Via刻蝕、PAD刻蝕。靈活的系統(tǒng)配置,適合研發(fā)、中試線、大規(guī)模生產(chǎn)線的不同應(yīng)用。采用Clean Mode量產(chǎn),道、后道均可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的量產(chǎn)穩(wěn)定性及更高的MTBC。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6/8 英寸兼容。適用材料 氧化硅、氮化硅、氮氧化硅。適用工藝 鈍化層刻蝕、硬掩膜刻蝕、接觸孔刻蝕、導(dǎo)線孔刻蝕、側(cè)襯刻蝕、回刻、自對(duì)準(zhǔn)刻蝕。適用域 科研、集成電路、化合物半導(dǎo)體。



化工儀器網(wǎng)

采購(gòu)商登錄
記住賬號(hào)    找回密碼
沒(méi)有賬號(hào)?免費(fèi)注冊(cè)

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息: