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ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機,先進的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

2. 設(shè)備用途/原理

先進的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。多片式托盤,實現(xiàn)高產(chǎn)能,同時確保優(yōu)異的刻蝕均勻性。全路徑全真空,全自動晶圓傳輸,顆??刂苾?yōu)工藝套件設(shè)計,更長的耗材壽命。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸適用材料  藍寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機物。適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質(zhì)反射層(DBR)刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕。適用域化合物半導(dǎo)體。



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