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RIE-802BCT 深硅刻蝕設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 SAMCO
  • 型號 RIE-802BCT
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/6 14:09:17
  • 訪問次數(shù) 193

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

RIE-802BCT是采用電感耦合等離子體作為放電形式的兩個反應(yīng)室的量產(chǎn)用硅深孔系統(tǒng)。標準配置有空氣盒和晶圓邊緣保護環(huán),以及高精度的晶圓對準器。該高性能系統(tǒng)能夠進行高長寬比加工(超過100)和低扇形加工,同時保持高蝕刻率和抗蝕劑選擇率。

2. 設(shè)備用途/原理

MEMS的制造(加速度傳感器、陀螺傳感器、壓力傳感器、執(zhí)行器等)。噴墨打印頭加工、通過TSV形成通硅。生產(chǎn)功率器件(超結(jié)MOSFET)等離子切割

3. 設(shè)備特點

高寬比處理,的等離子體發(fā)生器和反應(yīng)器結(jié)構(gòu),在保持垂直蝕刻形狀的同時,實現(xiàn)了高寬比加工。低扇形加工,通過高速切換氣體,在保持蝕刻速度的同時,可以減少扇貝。2003年,Samco是日本獲得博世工藝許可的設(shè)備制造商。從那時起,我們建立的工藝庫就可以對各種形狀和材料進行加工。




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