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EZ4-S 小巧型勻膠機

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勻膠機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品特點

結(jié)構(gòu)緊湊:EZ4-S設計結(jié)構(gòu)緊湊,易于放入手套箱內(nèi)操作,適合在有限空間內(nèi)進行實驗。

操作簡便:采用文本顯示器人機界面,液晶文本顯示,彩色面膜按鍵,操作簡單易用。

高精度:轉(zhuǎn)速范圍廣泛(100-9999RPM),轉(zhuǎn)速分辨率高達1RPM,確保實驗結(jié)果的精確性。

多步程控:可設置多步程序運行控制,多可設置5組5步程序,滿足復雜實驗需求。

耐腐蝕:外殼采用鋁合金著色氧化處理,內(nèi)腔采用耐腐蝕材料,經(jīng)久耐用。

寬電壓適用:配備100W直流無刷電機,寬電壓輸入(AC100-230V),適應不同電源環(huán)境。

2.產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)名稱參數(shù)值
型號EZ4-S
品牌LEBO/雷博
產(chǎn)地江蘇江陰
轉(zhuǎn)速范圍100-9999RPM
轉(zhuǎn)速分辨率1RPM
加速度可調(diào)范圍100-9999RPM/S
大單步步長3000S
旋轉(zhuǎn)時間分辨率1S
可處理底物尺寸小于1cm的碎片至4英寸(100mm)圓晶底物
電機類型直流無刷電機
電源輸入AC100-230V
外型尺寸210(W)265(D)220(H)mm(不同來源略有差異,如210mm(W)265mm(D)213mm(H))
標配載物盤直徑10mm、25mm、2英寸(或55mm)三種規(guī)格真空載物盤

3.應用域

EZ4-S小巧型勻膠機廣泛應用于納米薄膜制備、鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及優(yōu)良封裝等域。其高精度、高重復性和靈活配置的特點,使其成為科研和生產(chǎn)中的重要設備。





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