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IC8000-S 控溫型勻膠機

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勻膠機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品特點

控溫系統(tǒng):

采用了先進的控溫技術(shù),轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍可達室溫至200℃,溫度分辨率高達0.1℃,控溫精度小于±0.5℃(穩(wěn)定后控溫精度)。

轉(zhuǎn)盤溫度均勻性小于±2%,確保加熱過程中溫度分布均勻。

運動控制系統(tǒng):

配合精密的運動控制系統(tǒng),轉(zhuǎn)速范圍可達100-8000rpm,轉(zhuǎn)速分辨率±1rpm。

加速度可調(diào)范圍100-5000rpm/s,大單步旋涂時長可達3000s,時間分辨率0.1s。

操作界面:

操作界面友好,可存貯多達100組程序,每組程序可達100步,方便用戶進行復雜的實驗設(shè)置。

運行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動時間等可實時顯示,便于用戶監(jiān)控實驗過程。

結(jié)構(gòu)設(shè)計:

采用HDPE高分子內(nèi)腔、PC透明蓋和鈑金外殼,具有可靠的隔熱設(shè)計,確保設(shè)備電機及元件安全。

安全電壓發(fā)熱部件,確保操作安全可靠。

可擴展性:

可升添加一路精準計量自動點膠功能,滿足更多實驗需求。

2.產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)名稱參數(shù)值
型號IC8000-S
產(chǎn)地中國·江蘇江陰
加熱控溫范圍室溫-200℃
溫度分辨率0.1℃
控溫精度<±0.5℃(穩(wěn)定后)
轉(zhuǎn)盤溫度均勻性<±2%
轉(zhuǎn)速范圍100-8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率±1rpm
加速度可調(diào)范圍100-5000rpm/s
大單步旋涂時長3000s
時間分辨率0.1s
多步程序設(shè)置100組100步程序
標配載物盤可調(diào)卡爪載物盤(10-30mm方片或圓片可調(diào)),其他規(guī)格可定制
外型尺寸264mm(W)410mm(D)280mm(H)
重量約15Kg
電源輸入100-120V, 單相, 550W(110V型);200-230V, 單相, 550W(220V型)

3.設(shè)備用途

IC8000-S控溫型勻膠機廣泛應用于微電子、半導體、光電子、生物醫(yī)學等域,特別適用于需要高精度、高均勻度勻膠操作的實驗和研究。







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