CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS 帶過渡艙三靶磁控濺射鍍膜儀
參考價 | ¥ 250000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/3 15:52:13
- 訪問次數(shù) 22
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
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應用領域 | 能源,電子,冶金,汽車,電氣 | 真空腔體 | 直徑≦100mm的平面樣品均可 |
樣品臺尺寸 | 直徑≦100mm的平面樣品均可 | 磁控靶 | 普通永磁靶,可調(diào)角度 |
靶材尺寸 | 直徑2英寸,厚度≦3mm, | 濺射功率 | 500W |
本設備為帶過渡艙三靶磁控濺射鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備。
設備配有三支磁控靶,兩套直流電源,可用于鍍多層導電金屬膜。同時設備具有主腔室和過渡艙兩部分,過渡艙配有磁力推桿,兩個艙室之間裝有真空閘板閥;用戶可以在主腔室進行濺射工作的同時,在過渡艙裝填樣品,并進行真空預抽,待主腔室濺射完成后即可將樣品通過磁力推桿推入主腔室的樣品臺。這樣的設計能夠減少主腔室抽放真空的次數(shù),不僅能有效節(jié)省時間,更能保證更好的本地真空,有效提高鍍膜質量.
帶過渡艙三靶磁控濺射鍍膜儀技術參數(shù):
項目 | 明細 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS | |
供電電源 | VAC 110, 60Hz | |
樣品臺 | 位置 | 下部,帶擋板 |
直徑尺寸 | φ150mm | |
可調(diào)轉速 | 0-20rpm 可調(diào) | |
加熱溫度 | RT~500oC | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ325xH510mm |
腔體材料 | 304 不銹鋼 | |
內(nèi)壁處理 | 電解拋光 | |
密封方式 | 氟橡膠密封 | |
觀察窗口 | φ100mm(帶擋板) | |
磁控靶槍 | 數(shù)量 | 3 |
擺頭角度 | 可調(diào)角度 -45~45 度 | |
濺射方向 | 向下濺射 | |
靶材平面 | 圓形平面靶 | |
靶材直徑 | 2英寸 | |
靶材厚度 | *厚3mm | |
直流電源 | 數(shù)量 | 2臺 |
電源功率 | 0~500W | |
輸出電壓 | 0~600V | |
*大輸出電流 | 1A | |
啟動時間 | 1~10S | |
射頻電源 | 數(shù)量 | 1臺 |
電源功率 | 0~500W | |
射頻頻率 | 13.56MHz | |
匹配方式 | 自動匹配 | |
反射功率 | ≦100W | |
功率穩(wěn)定性 | ±0.1% | |
膜厚監(jiān)測儀 | 通道數(shù) | 單通道 |
測量精度 | 0.1 ? | |
測量速度 | 100ms-1s/次,可設置測量范圍:500000?(鋁) | |
標準傳感器晶體 | 6MHz | |
適用晶片尺寸 | Φ14mm | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵,抽速1.1L/s |
渦輪分子泵 | 抽速600L/s 額定轉速:27000rpm 啟動時間:≦5min 冷卻方式:水冷 | |
真空度 | 5x10-4Pa | |
真空測量 | 復合真空計,測量范圍10-5Pa ~ 105 Pa | |
過渡倉 | 腔體尺寸要適用于*大4英寸的晶圓 配備分子泵組: 前級泵:VRD-4,抽速1.1L/s 分子泵:日本TG60F,抽速60L/s | |
水冷機 | 冷卻水流速 | 10L/min |
整機功率 | 0.1KW | |
冷卻功率 | 50W/℃ | |
水箱容量 | 9L | |
氣體控制 | 1路質量流量計:Ar氣,范圍0-200sccm | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) |