表面平整度測(cè)試儀,哈特曼測(cè)量?jī)xHartmannometer是為測(cè)量光學(xué)表面平整度設(shè)計(jì)的哈特曼分析計(jì)量?jī)x器,是用方法和工作原理與菲索干涉儀 (Fizeau interferometer) *相同并且具有相同的性能。
表面平整度測(cè)試儀由激光束照射表面進(jìn)行測(cè)量,用Shack-Hartmann波前傳感器測(cè)量反射波前。
表面平整度測(cè)試儀哈特曼測(cè)量?jī)x的*優(yōu)點(diǎn)（與菲索干涉儀相比）
對(duì)振動(dòng)不敏感
在振動(dòng)下，哈特曼圖上的斑點(diǎn)會(huì)圍繞它們的平均位置移動(dòng)。通過(guò)選擇較長(zhǎng)的曝光時(shí)間，振動(dòng)下的光斑質(zhì)心與無(wú)振動(dòng)時(shí)相同。
表面平整度測(cè)試儀現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量
一旦要測(cè)量的光學(xué)表面對(duì)齊，就不需要啟動(dòng)采集程序。結(jié)果顯示在現(xiàn)場(chǎng)。它使消除振動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響變得更加容易。
具有成本效益的技術(shù)
這是一種成本較低的技術(shù)，它不使用昂貴的高平坦度光學(xué)元件。

表面平整度測(cè)試儀技術(shù)規(guī)格
光譜范圍             122nm~10.6µm
孔徑                           集成擴(kuò)束器后無(wú)限制
實(shí)測(cè)曲率                 集成補(bǔ)償光學(xué)元件后無(wú)限制
精度                       λ/30 rms
橫向分辨率              根據(jù)要求：通常為孔徑的2/100
接口                           USB
表面平整度測(cè)試儀軟件適用于Windows 10、8、7
實(shí)時(shí)顯示Hartmanogram和波前分析：Zernike多項(xiàng)式（標(biāo)準(zhǔn)和條紋）、2D-3D條紋圖、2D-3D相位圖、2D-3D強(qiáng)度圖、M2、PSF、波前P-V&RMS；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)參數(shù)。