這款高溫探針臺(tái)是為高溫環(huán)境器件測(cè)試或真空環(huán)境或氣體環(huán)境器件探針臺(tái)分析測(cè)試而設(shè)計(jì)。手動(dòng)高溫探針臺(tái)可測(cè)試50mm x 50mm的晶圓樣品，電控或半自動(dòng)高溫探針臺(tái)可測(cè)試100mm或更大尺寸晶圓樣品。
高溫探針臺(tái)在真空環(huán)境下可測(cè)量溫度環(huán)境高達(dá)700攝氏度,在非真空環(huán)境下可測(cè)650攝氏度。
高溫探針臺(tái)特點(diǎn)

具有手動(dòng)，半自動(dòng)或電控探針臺(tái)配置方案

探針臂可配備額外手動(dòng)微操作器，方便微納操作

可配備空氣或液氮制冷的熱晶圓夾盤

標(biāo)配7:1X放大透鏡管，分辨率可達(dá)4微米

可選配12.5:1或16:1X放大透鏡管

有效振動(dòng)隔離

快速制冷和加熱選項(xiàng)