這款手動(dòng)探針臺(tái)適合150mm尺寸晶圓測(cè)試,是經(jīng)濟(jì)型探針臺(tái)但是具有昂貴探針臺(tái)的良好參數(shù)性能，結(jié)構(gòu)緊湊而方便使用,非常適合實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體器件測(cè)試和電路測(cè)試應(yīng)用。
手動(dòng)探針臺(tái)適合特色

手動(dòng)操作樣品臺(tái)，行程范圍100mm x 100mm 或150mm x 150mm可選

加載或卸載晶圓非常方便

傳統(tǒng)的粗調(diào)和微調(diào)臺(tái)板設(shè)計(jì),范圍12.7mm, 25mm或40mm可選

光滑的磁鐵臺(tái)板可支撐高達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器

高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X

帶有相機(jī)接口

兩側(cè)帶有連接接口,適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺(tái)顯微鏡

可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等

手動(dòng)探針臺(tái)適合規(guī)格參數(shù)

適合晶圓大小：最高150mm (其它尺寸可提供）

XY位移臺(tái)： 行程范圍100mm x 100mm 或150mm x 150mm可選，分辨率3um

臺(tái)板行程：12.7mm 或更大，

臺(tái)板調(diào)整：帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復(fù)精度+/-1.5um

臺(tái)板平面度：<+/-12.7um @150mm長(zhǎng)度, 可選<+/-5um

臺(tái)板剛度：<5um @4.5kg

樣品卡盤規(guī)格

真空：3區(qū)真空

平面度：+/-13um  (可選+/-3um)

擊穿電壓：500V

隔離度：1G歐姆

調(diào)整：360度粗調(diào)， +/-6度微調(diào)

Z軸微調(diào)：10mm, 1um分辨率

顯微鏡：高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X

電學(xué)接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭

安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動(dòng)XY升級(jí)位移臺(tái)）