目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測量系列>>晶圓測試儀器>> FPEH-MX10高分辨率晶圓厚度測試儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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高分辨率晶圓厚度測試儀能夠高精度測量硅晶圓厚度和硅晶圓厚度變化,分辨率高達10nm,可滿足不同的晶圓厚度范圍。
高分辨率晶圓厚度測試儀具有良好的自動校準功能，在掃描晶圓前，厚度測量計自動校準。
用戶可選擇多達四個厚度測量范圍
配套軟件MXNT
型號：MX102-8規(guī)格特色(測量晶圓厚度和TTV厚度）
用戶可選擇多達四個厚度測量范圍
動態(tài)范圍100或350µm
可容納晶圓直徑6''或8"
精度0.1µm
分辨率10nm
空間分辨率1mm
4次掃描
配套軟件MXNT
型號：MX1012規(guī)格特色
(測量晶圓厚度和TTV厚度）
用戶可選擇多達四個厚度測量范圍
動態(tài)范圍100或350µm
可容納晶圓直徑8"或12''
精度0.1µm
分辨率10nm
空間分辨率1mm
8次掃描
配套軟件MXNT
型號：MX1018規(guī)格特色
(測量晶圓厚度和TTV厚度）
用戶可選擇多達四個厚度測量范圍
動態(tài)范圍100或350µm
可容納晶圓直徑300mm或450mm
精度0.3µm
分辨率10nm
空間分辨率1mm
8次掃描
配套軟件MXNT
高分辨率晶圓厚度測試儀規(guī)格
| 型號 | 晶圓直徑[mm] |
| MX 102-6 | 100, 125, 150 |
| MX 102-8 | 150, 200 |
| MX 1012 | 200, 300 |
| MX 1018 | 300, 450 |
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