這款晶圓少子壽命測量儀是專業(yè)為晶圓少數(shù)載流子復(fù)合壽命測量設(shè)計的少子壽命測試儀器。
晶圓少子壽命測量儀采用半標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命測量方法QSSPC技術(shù)和瞬態(tài)光電導(dǎo)衰退技術(shù)測量在10ns~10ms范圍的少子壽命。其中準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命測量方法QSSPC非常適合監(jiān)測多晶硅晶圓,摻雜擴散和低壽命樣品。瞬態(tài)光電導(dǎo)衰退適合較高少子壽命的晶圓測量。準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命測量方法QSSPC技術(shù)壽命測量也得出隱含開路電壓（對照度）曲線，與I-V曲線相當(dāng)。
晶圓少子壽命測量儀特色

•單鍵識別硅片的關(guān)鍵特性，包括片材電阻，壽命，陷阱密度，發(fā)射極，飽和電流密度，電壓

•校準(zhǔn)載流子壽命與注入水平產(chǎn)生,結(jié)果是普遍的認(rèn)可的

晶圓少子壽命測量儀應(yīng)用

主要用途：逐步監(jiān)測晶圓 以及制造工藝的優(yōu)化

其他應(yīng)用：

•監(jiān)控初始材料質(zhì)量

•檢測過程中的重金屬污染

晶圓加工

•評估表面鈍化和發(fā)射極摻雜擴散

•使用隱含的I-V測量

晶圓少子壽命測量儀規(guī)格參數(shù)

可測值:壽命,電阻率,發(fā)射極飽和電流密度,陷阱密度,一個太陽Voc

壽命測量范圍:100 ns到大于10 ms

測量（分析）模式:準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)壽命QSSPC、瞬態(tài)壽命和廣義壽命分析

電阻率測量范圍：3–600）歐姆/平方英寸，（未摻雜）

可用光偏壓范圍：0–50個太陽

典型校準(zhǔn)注射范圍：10^13~10^16  cm^-3

可用光譜:  白光和紅外照明

傳感器面積:  40mm直徑

樣本大小，標(biāo)準(zhǔn)配置:  標(biāo)準(zhǔn)直徑：40–210mm

晶圓厚度范圍: 10–2000μm（校準(zhǔn)）,可測量其他厚度