大型自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI是為14''晶圓光學(xué)檢測(cè)設(shè)計(jì)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)機(jī)器,非常適合微電子與半導(dǎo)體檢測(cè),自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)晶圓、芯片、引線鍵合等。
大型自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI的900系列是一個(gè)模塊化AOI檢查平臺(tái),提供一系列優(yōu)良的光學(xué)和操控性
解決方案包括3D、高分辨率成像和quad彩色照明。攝像頭和光學(xué)系統(tǒng)可擴(kuò)展到分辨率低于1微米。此外，一系列可定制物料搬運(yùn)配置包括…在內(nèi)刀庫處理、帶鋼處理、托盤處理和晶圓處理。
大型自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI非常適合晶片、芯片和引線、鍵合檢查等。提供自動(dòng)檢查和校準(zhǔn)功能,適合半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的測(cè)量解決方案。
大型自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI平臺(tái)提供最高的分辨率,2D和3D功能和光學(xué),微電子、包裝和三坐標(biāo)測(cè)量功能。
大型自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI使用高分辨率3D系統(tǒng)、12MP分辨率攝像頭、多層照明和多通道技術(shù)。
大型自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI特點(diǎn)
滿足100級(jí)超凈間標(biāo)準(zhǔn) （請(qǐng)聯(lián)系我們確認(rèn)）
較高測(cè)量能力，較大吞吐量
高分辨率3D檢測(cè)，微光學(xué)物鏡,
100-300mm晶圓
引線鍵合檢測(cè)

大型自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI規(guī)格參數(shù)