帶式晶圓分選機(jī)belt sorter是專業(yè)為晶圓硅片分選設(shè)計(jì)的皮帶式晶圓硅片分選機(jī),最大可適合8''晶圓分選分揀,非常適合晶圓硅片的生產(chǎn)測(cè)試。
帶式晶圓分選機(jī)belt sorter特點(diǎn)
可靈活集成MX 202晶圓測(cè)厚儀和翹曲度測(cè)量?jī)x器
生產(chǎn)時(shí)間短
極限壽命
低維護(hù)
成熟且長(zhǎng)期的現(xiàn)場(chǎng)認(rèn)可設(shè)計(jì)
25年以上皮帶分揀機(jī)經(jīng)驗(yàn)
高速分選,每小時(shí)分揀多達(dá)1000個(gè)晶片

晶圓操作模塊
發(fā)送方/接收方自動(dòng)化手臂
用于在接收器區(qū)域分配晶片的晶片開關(guān)
帶安裝升降機(jī)的可移動(dòng)裝置
過(guò)境模塊

晶圓測(cè)厚,翹曲度測(cè)量模塊MX 202
AZ6（6-33）或AZ8（8-37）幾何模塊
帶單厚度傳感器對(duì)的T型模塊
帶有集成可選P/N傳感器的電阻率模塊

軟件與自動(dòng)化
我們所有的晶圓測(cè)厚,翹曲度測(cè)量模塊MX工具系列都使用同一個(gè)Windows操作軟件MX-NT V2。它結(jié)合了20多年半導(dǎo)體需求方面的經(jīng)驗(yàn)。
通過(guò)高度靈活和可重復(fù)使用的配方，可以根據(jù)獲得的任何特征進(jìn)行分類，例如根據(jù)厚度進(jìn)行分組。
所有數(shù)據(jù)都可以存儲(chǔ)在MS SQL Server數(shù)據(jù)庫(kù)中，也可以存儲(chǔ)在MS Access數(shù)據(jù)庫(kù)中。
功能強(qiáng)大的軟件選項(xiàng)，如SECS/GEM自動(dòng)化接口或我們類似的專有簡(jiǎn)單Soap Server One（SO）接口，允許將E+H工具無(wú)縫集成到您的生產(chǎn)工廠中。