自動水滴角測量儀是為半導(dǎo)體晶圓水滴性能測試設(shè)計的全自動表面
水滴角測試儀器,特別適合晶圓涂層和光刻工藝的工藝控制。
自動水滴角測量儀特點:-全自動水滴角接觸角映射
-自動樣品定位的電動晶片臺x/phi
-電動自動加藥給液裝置
-自動液滴放置
-軟件控制全自動測量
-視頻圖像中測量結(jié)果形成文檔
水滴角測量儀滿足超凈間使用要求,步進電機驅(qū)動x/phi位移臺,實現(xiàn)晶片上的任何點都可以快速移動,幾秒鐘完成自動測量,打印出測量結(jié)果。
水滴角測量儀測試液滴由自動給液裝置。水滴的圖像立即顯示為PC屏幕上的高質(zhì)量實時視頻圖片。測量由一次按鍵啟動。軟件確定接觸角度并立即用圖形表示,如同用數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)表示一樣包括在內(nèi)。每秒僅1秒的快速測量時間刪除排除錯誤。SURFTENS HL自動擔(dān)保zui高再現(xiàn)性和測量精度結(jié)合易于操作。