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更新時(shí)間:2024-12-29 15:43:47
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型號(hào) | SLL12 | SLLA42 | SLLV42 |
分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
負(fù)載 | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) |
適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
行程范圍 | 70~475mm | 70~1480mm | 70~1480mm |
步進(jìn)1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
掃描范圍 | >1.5um | >3um | >3um |
掃描分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
速度 | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s |
***大頻率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
阻尼力Fb | >3N | >5N | >5N |
***大正向力Fn | 30N | 30N | 30N |
***大升力Fl | >1N | >1.5N | >1.5N |
尺寸 | 33.8 x 27 x 13 mm3 | 54 x 60 x 16 mm3 | 54.8 x 60 x 16 mm3 |
重量 | 44g | 148g | 148g |
鋼軌重 | 59 g / 100 mm | 286 g / 100 mm | 286 g / 100 mm |
pitch俯仰力矩Mp | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
yaw偏航力矩My | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr | 11Nm | 90Nm | 90Nm |
Closed-Loop-S 傳感器分辨率 | 1nm | 1nm | 1nm |
Closed-Loop-S 重復(fù)精度 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)