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FPSMA-SLLV42-納米線性位移平臺(tái)
  • FPSMA-SLLV42-納米線性位移平臺(tái)
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貨物所在地:上海上海市

地: www.felles.cn/n

更新時(shí)間:2024-12-29 15:43:47

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納米線性位移平臺(tái)SLLV42是長(zhǎng)行程范圍的線性納米位移平臺(tái),基于循環(huán)球滑塊設(shè)計(jì),小滑塊結(jié)合不同長(zhǎng)度的導(dǎo)軌,使其可以進(jìn)行精確遠(yuǎn)程納米位移定位或在有限空間內(nèi)大行程范圍的納米位移定位??梢栽谕粋€(gè)軌道上放置多個(gè)滑塊。
納米線性位移平臺(tái)SLLV42是長(zhǎng)行程范圍的線性納米位移平臺(tái),基于循環(huán)球滑塊設(shè)計(jì),小滑塊結(jié)合不同長(zhǎng)度的導(dǎo)軌,使其可以進(jìn)行精確遠(yuǎn)程納米位移定位或在有限空間內(nèi)大行程范圍的納米位移定位??梢栽谕粋€(gè)軌道上放置多個(gè)滑塊。
納米線性位移平臺(tái)SLLV42可由我們的任何控制單元操作,也可用于高真空應(yīng)用。
納米線性位移平臺(tái)
納米線性位移平臺(tái)SLLV42規(guī)格參數(shù)
型號(hào)SLL12SLLA42SLLV42
分辨率<1nm<1nm<1nm
負(fù)載30N(3kg)30N(3kg)30N(3kg)
適合真空度10-11 mbar10-11 mbar10-11 mbar
行程范圍70~475mm70~1480mm70~1480mm
步進(jìn)11-1500nm1-1500nm1-1500nm
掃描范圍>1.5um>3um>3um
掃描分辨率<1nm<1nm<1nm
速度>20mm/s>20mm/s>20mm/s
***大頻率18.5KHz18.5KHz18.5KHz
阻尼力Fb>3N>5N>5N
***大正向力Fn30N30N30N
***大升力Fl>1N>1.5N>1.5N
尺寸33.8 x 27 x 13 mm354 x 60 x 16 mm354.8 x 60 x 16 mm3
重量44g148g148g
鋼軌重59 g / 100 mm286 g / 100 mm286 g / 100 mm
pitch俯仰力矩Mp6Nm25Nm25Nm
yaw偏航力矩My6Nm25Nm25Nm
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr11Nm90Nm90Nm
Closed-Loop-S
傳感器分辨率
1nm1nm1nm
Closed-Loop-S
重復(fù)精度
± 70 ~450 nm 2± 70 ~450 nm 2± 70 ~450 nm 2
納米線性位移平臺(tái)SLLV42可選項(xiàng)目
多運(yùn)載滑塊
沉頭孔、螺紋孔(M4)
黑色陽(yáng)極氧化(-BK)
閉環(huán)所需的螺紋孔M4
-HV (10-6 mbar) 3
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件
納米線性位移平臺(tái)SLLV42具有多種配件方便用戶使用,可以配備各種規(guī)格的適配板,也可集成壓電驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌用于搭建各種復(fù)雜納米定位系統(tǒng)。
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件-被動(dòng)運(yùn)載滑塊-可以安裝到各種導(dǎo)軌上,方便移動(dòng)定位樣品
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件-終點(diǎn)阻擋器-安裝到線性定位臺(tái)上方便阻擋滑塊脫軌
納米線性位移平臺(tái)SLLV42配件-寬定位臺(tái)適配器-能夠適配不同寬度的納米線性定位臺(tái)
納米線性位移平臺(tái)
納米線性位移平臺(tái)SLLV42應(yīng)用案例
我們采用兩個(gè)納米線性位移平臺(tái)SLLV42和一套SR-7012納米旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)組成了3D納米微操作器,能夠負(fù)載300克樣品,在XY和旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橛脩籼峁┘{米定位,可用于真空環(huán)境,非常適合用于SEM掃描電子顯微等樣品定位。
納米線性位移平臺(tái)


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