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更新時(shí)間：2024-12-31 14:09:15
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晶圓裝卸操作臺(tái)是專(zhuān)業(yè)為4英寸晶圓裝卸,晶圓搬運(yùn),晶圓取放等晶圓操作操縱設(shè)計(jì)的晶圓裝卸定位臺(tái)系統(tǒng)。它采用XYZ三維定位臺(tái)和360度旋轉(zhuǎn)臺(tái)集成而成。
晶圓裝卸操作臺(tái)具有微納定位功能,可集成為自動(dòng)化晶圓裝卸機(jī)器人手臂，具體配置請(qǐng)聯(lián)系我們。
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晶圓裝卸操作臺(tái)具有微納定位功能,可集成為自動(dòng)化晶圓裝卸機(jī)器人手臂，具體配置請(qǐng)聯(lián)系我們。
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