進(jìn)口主動(dòng)減振臺(tái),主動(dòng)式減震臺(tái)是桌面式三維隔振臺(tái),提供三維六自由度隔震,同時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)裝載臺(tái)的振動(dòng),適合原子力顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡,光學(xué)形貌儀輪廓儀,百萬(wàn)分之一天平等超精密儀器隔振。

進(jìn)口主動(dòng)減振臺(tái),主動(dòng)式減震臺(tái)特色

六自由度主動(dòng)隔振

該系統(tǒng)可以在三維（六個(gè)自由度）控制振動(dòng)，同時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)裝載臺(tái)的振動(dòng)。這是通過(guò)使用集成致動(dòng)器來(lái)向測(cè)量的振動(dòng)提供反相信號(hào)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。  

自動(dòng)主動(dòng)控制和調(diào)平  

我們zui初開(kāi)發(fā)的控制系統(tǒng)you化了增益控制，這是主動(dòng)隔振的重要組成部分。  

即使用于小重量應(yīng)用

在回顧組裝部件的結(jié)構(gòu)時(shí)，我們成功地開(kāi)發(fā)了該系列，即使是小重量的應(yīng)用，如小型SPM，也可以使用，而不會(huì)降低隔振性能。

進(jìn)口主動(dòng)減振臺(tái),主動(dòng)式減震臺(tái)規(guī)格參數(shù)