邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間:2024-05-17 08:08:31瀏覽次數(shù):1713
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供貨周期 | 一個(gè)月以上 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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Futurrex產(chǎn)品優(yōu)勢:
1、Futurrex光刻膠黏附性好,無需使用增粘劑(HMDS)
2、負(fù)性光刻膠常溫下可保存3年
3、150度烘烤,縮短了烘烤時(shí)間
4、單次旋涂能夠達(dá)到100um膜厚
5、顯影速率快,100微米的膜厚,僅需6~8分鐘
負(fù)性光刻膠
A、 粘性增強(qiáng)負(fù)膠(NR9-P、NR9G-P、NR5系列)
特性
在蝕刻和電鍍應(yīng)用時(shí)具有*的粘附力,且很容易去除
厚度范圍:<0.1-120μm
i、g以及h線曝光
優(yōu)勢:
具有一次旋涂即可獲得100μm以上*的分辨率的甩膠厚度
150℃軟烘烤的應(yīng)用可縮短烘烤時(shí)間
更快的顯影,100μm的光刻膠顯影僅需6-8分鐘
不必使用增粘劑如HMDS
B、 高級加工負(fù)膠(NR71-P、NR71G-P系列)
特性:
在RIE處理是優(yōu)異的選擇性以及在離子注入時(shí)優(yōu)異的耐高溫性能
厚度范圍:<0.1-120μm
i、g以及h線曝光
優(yōu)勢:
具有一次旋涂即可獲得100μm以上*的分辨率的甩膠厚度
150℃軟烘烤的應(yīng)用可縮短烘烤時(shí)間
更快的顯影,100μm的光刻膠顯影僅需6-8分鐘
可耐受180℃的高溫
不必使用增粘劑如HMDS