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| 供貨周期 | 兩周 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
Plasmaflo氣體流量混合器是可選配件
可用于任何與等離子清洗機模型結(jié)合，有利于氣體混合，氣體的流量和真空壓力監(jiān)測更精確的定量控制。
PlasmaFlo 氣體流量混合器特征：
(PDC-FMG (115V); PDC-FMG-2 (230V))
兩種工藝氣體比例混合控制流量，也可獨立控制兩種工藝氣體的流量的雙過程流量計
常壓下zui大49mL/min 的流量
精度± 2%
熱電偶真空計，數(shù)值顯示(范圍1 to 1999 mTorr)
重量：7 lbs
尺寸：8.5" H x 10" W x 8" D
* zui大流量隨工藝氣體和調(diào)節(jié)壓力變化。流量計可用于常見的工藝氣體(空氣，氬氣，氮氣，氧氣)。
氣體流量混合器其他工藝氣體請咨詢 German First-Nano System (HK)Limited
參考客戶：
蘭州大學(xué) 鄭州大學(xué) 上海交通大學(xué) 上海復(fù)旦大學(xué) 合肥工業(yè)大學(xué) 成都電子科技大學(xué) 北京大學(xué) 清華大學(xué)醫(yī)工所 蘭州化物所 中科院納米所 等等
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