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晶圓厚度TTV測試儀返回列表頁

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面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地蘇州市

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更新時間：2025-04-14 15:22:49瀏覽次數(shù)：106次

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價格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,航空航天,電氣,綜合

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓的厚度測量是至關(guān)重要的一環(huán)，它直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。為了滿足高精度測量的需求，我們研發(fā)了一款對射非接觸式光譜共焦位移傳感器厚度測量設(shè)備，專門用于晶圓厚度的精確測量

技術(shù)特點

高精度測量：本設(shè)備采用光譜共焦原理，通過分析反射光的光譜信息來確定被測物體的位移，從而實現(xiàn)對晶圓厚度的精確測量。其重復(fù)精度高達(dá)±0.5um，絕對精度達(dá)到+1um，確保了測量結(jié)果的可靠性和穩(wěn)定性。
靈活的測量模式：設(shè)備提供多種測量模式，包括4線米字掃描、多點位步進掃描等，用戶可以根據(jù)實際需求自定義掃描軌跡，滿足多樣化的測量需求。
先進的機械結(jié)構(gòu)：工作平臺采用XY運動平臺與龍門結(jié)構(gòu)相結(jié)合的設(shè)計，保證了測量過程中的穩(wěn)定性和精度。載物臺方面，我們優(yōu)選鏤空、六支臂結(jié)構(gòu)形式，以最小化對測量結(jié)果的干擾；次選為鋁合金載物臺鍍特氟龍涂層，并刻有不同尺寸晶圓的輪廓示意線，便于用戶快速定位。