是一款汞探針CV自動圖形掃描測量系統(tǒng)。它使用高頻CV測量分析系統(tǒng)，可以對75mm、100mm、125mm、150mm、200mm（以及300mm）直徑的測試片進行測量和自動成圖。該系統(tǒng)采用的汞探針設計，從而允許測試片正面朝上，相比于傳統(tǒng)的汞探針測試系統(tǒng)將測試片正面朝下吸附在樣品臺上而言，該設計能夠避免在成圖測量時的表面沾污和破壞。探針的CV系統(tǒng)是一種雙極測試設備，兩個接口被分別連接在樣品的兩個電極上。實際的CV測試包括兩個方面：在樣品電極上施加反向（或正向）偏置電壓；測試兩個接口之間的電容。

金屬電極和耗盡區(qū)構成一個極板電容，這和兩塊金屬板構成的空氣電容類似。當反偏電壓越來越大時，耗盡層越來越深，對應的電容會越來越小。從測到的電容電壓數(shù)據對，我們可以分析計算出摻雜濃度隨深度的變化曲線。從得到的曲線可以進一步判斷摻雜濃度在深度分布上是否均勻等