深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

噴涂膠機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)AS8

品牌SUSS

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地德國(guó)

更新時(shí)間：2024-09-06 15:03:11瀏覽次數(shù)：682次

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在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過(guò)優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動(dòng)路徑可以實(shí)現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細(xì)小的液滴

1.產(chǎn)品介紹：  

AS8適用于崎嶇表面的手動(dòng)噴霧涂膠機(jī),AS8涂膠機(jī)可以滿足實(shí)驗(yàn)室和試產(chǎn)環(huán)境下常用工藝的需要，對(duì)于起伏臺(tái)階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工，都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機(jī)也可用于生產(chǎn)環(huán)境。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術(shù)

頂部邊緣覆蓋的保形涂膠，且能避免溝槽中堆膠。

噴霧設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復(fù)性的優(yōu)化

基板尺寸最大直徑為200 mm，方形基板最大邊長(zhǎng)為 6"

最多可有2個(gè)獨(dú)立的噴霧噴膠系統(tǒng)，以避免交叉污染

帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程

有掩膜光刻機(jī)

1.手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)有掩膜光刻機(jī)$r$n2.高分辨率掩模對(duì)準(zhǔn)光刻，

無(wú)掩膜/激光直寫(xiě)光刻機(jī)

無(wú)掩膜/激光直寫(xiě)光刻機(jī) 參數(shù)：1. 光源：375 nm、385 nm、

電子束光刻系統(tǒng)

電子束光刻系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù)：$r$n1.最小線寬≤8nm 光柵周期

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