您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>5 刻蝕設(shè)備>> customized-14深硅刻蝕系統(tǒng)DEEP SI ETCH
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)customized-14
品牌OXFORD/英國(guó)牛津
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地深圳市
更新時(shí)間：2024-09-06 15:05:06瀏覽次數(shù)：1339次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
提供深硅蝕刻（DSiE）領(lǐng)域的MEMS，封裝和納米技術(shù)的廣泛應(yīng)用，從光滑側(cè)壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕，不需要更換腔室硬件就可以實(shí)現(xiàn)。百科：深硅刻蝕系統(tǒng)的原理既包括利用等離子體中的活性粒子進(jìn)行物理和化學(xué)作用的等離子體刻蝕技術(shù)，也包括通過(guò)化學(xué)反應(yīng)去除材料的濕法刻蝕技術(shù)。
2. 設(shè)備特點(diǎn)
光滑側(cè)壁工藝；
高刻蝕速率腔刻蝕;
高深寬比工藝;
錐形通孔刻蝕;
機(jī)械或靜電壓盤,加熱內(nèi)襯;
延長(zhǎng)了兩次清洗間的平均時(shí)間間隔（MTBC）環(huán)形激光陀螺反射鏡;
X射線光學(xué)系統(tǒng);
紅外（IR）傳感器;
II-VI族材料，通信濾波器。
 |
 |
 |
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
| 評(píng)價(jià)時(shí)間 | 類別 | 詳細(xì)內(nèi)容 | 評(píng)價(jià)者 | IP地址 |
化工儀器網(wǎng)