1. 產品概述
Saqua SC3080A系列 12英寸單片清洗設備。
2. 設備用途/原理
Saqua SC3080A系列 12英寸單片清洗設備，精密的腔室微環(huán)境控制能力，支持多種化學品，高效的化學品回收效率，4 腔或 8 腔可選。
3. 設備特點
晶圓尺寸 12 英寸，適用材料 單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介質膜、金屬膜。適用工藝 后段 Cu/Al 制程刻蝕后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蝕， 后段控擋片回收。適用域 新興應用、集成電路、優(yōu)良封裝。百科：?單片清洗設備主要用于清洗半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。?單片清洗設備是半導體制造過程中的關鍵設備之一，特別是在硅片制造、晶圓制造及芯片封裝等場景中發(fā)揮著重要作用。這些設備通過采用旋轉噴淋、超聲波、氣泡等方式逐片清洗晶圓，確保半導體器件的潔凈度和性能。
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