深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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12英寸槽式清洗設(shè)備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號WE3102系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間：2024-09-05 15:28:23瀏覽次數(shù)：523次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。

1. 產(chǎn)品概述

WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。

2. 設(shè)備用途/原理

WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。軟件量身定制，具備快速更新能力，較高的溫度控制穩(wěn)定性，超高的補(bǔ)水精度，精準(zhǔn)的蝕刻速率控制，優(yōu)秀的干燥效果。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 12 英寸，適用材料 光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物。適用工藝 爐清洗、刻蝕 / 拋光后清洗、光阻去除、金屬氧化物去除、氮化物去除、控?fù)跗厥?/span>。適用域 新興應(yīng)用、集成電路。

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