1.產(chǎn)品概述：

Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的ALD集群工具產(chǎn)品，以滿足廣泛的應(yīng)用和細(xì)分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊，以滿足特定的晶圓容量要求，或者在以后進行升，以響應(yīng)不斷增長的數(shù)量或新的 ALD 應(yīng)用。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

一個平臺，多種配置：Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的ALD集群工具產(chǎn)品，以滿足廣泛的應(yīng)用和細(xì)分市場的需求。Beneq Transform 配置多個 ALD 工藝模塊，以滿足特定的晶圓容量要求，或者在以后進行升，以響應(yīng)不斷增長的數(shù)量或新的 ALD 應(yīng)用。

熱原子層沉積和等離子體原子層沉積合二為一。

單晶圓或批量處理：泛的高性能氧化物和氮化物。大限度地增加靈活的批量生產(chǎn)選擇。憑借其靈活的自動化平臺和將熱批量和等離子體增強的原子層沉積工藝模塊結(jié)合在一個集成系統(tǒng)中的功能，Beneq Transform 在如何實現(xiàn)處理序列以滿足的薄膜沉積要求方面提供了靈活性。

為晶圓廠設(shè)計：行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的水平晶圓裝載提供即插即用的集成。預(yù)熱模塊消除了等待時間，并將吞吐量提升到一個全新的水平。

SEMI認(rèn)證：符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)。定制支持可確保在生產(chǎn)中順利過渡到原子層沉積。