深圳市矢量科學儀器有限公司

分子束外延MBE

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號GEN20

品牌Veeco

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間：2024-09-05 11:26:00瀏覽次數(shù)：289次

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Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設計技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。

1. 產(chǎn)品概述：

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設計技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。 

材料研究和預生產(chǎn)環(huán)境的理想選擇

垂直源到基板方向，具有 12 個 MBE 源端口和添加電子束功能的選項

手動或自動晶圓轉(zhuǎn)移選項可配置的低溫板、機械手、百葉窗和原位監(jiān)測設備

模塊化設計允許多兩個增長模塊

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設計技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。

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