1. 基本參數(shù)
適用晶圓尺寸:100mm(4") ~ 300mm(12")
配置:輸入噴淋清洗，兩個雙面刷清洗和旋轉漂洗干燥(可選:分離QDR)
清洗機尺寸:1610w 1260d 1640hmm電刷尺寸:070(外徑)031(內徑)170(長)毫米
預清洗工位:DIW噴霧清洗，工位間DIW帷幕清洗
輥刷工位
化學：nh4oh或DIW
刷頭型式:PVA刷頭，可同時清洗晶圓片的正反面
刷位調節(jié):手動控制(可用刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)
轉速:<滿量程的±5%范圍30 ~ 400rpm
化學品供應:4個噴嘴和通過毛刷
可用化學品:2個化學品[NH4OH]
化學和DI流量:<滿量程的±5%。
轉站
選項:超高速掃描
旋轉速度:最高2500轉/分DI漂洗/ N2吹
控制工藝流程:手動加載，自動順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器，程序控制PLC式。
化工儀器網