深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

CMP后清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號GNP CEANER-412S

品牌G&P

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地韓國

更新時間：2024-09-04 16:56:54瀏覽次數(shù)：250次

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GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機集成了兩個雙刷站，設(shè)計緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。

1. 產(chǎn)品概述：

GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機集成了兩個雙刷站，設(shè)計緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。

適用晶圓尺寸:100mm(4")和300mm(12")

配置:噴淋清洗、單邊刷清洗、旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選:分離QDR)

清潔器尺寸:1,100W 1,100D 1,650Hmm

電刷尺寸:070(外徑)032(內(nèi)徑)170(長)毫米

刷隙調(diào)節(jié):PLC自動控制(可選刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)

化學(xué):NH4OH ~ 1%

可用刷型:雙面PVA刷

電刷轉(zhuǎn)速:最高400rpm

旋轉(zhuǎn)速度:手動加載與自動順序，濕入/干出，最大2,000rpmDIW沖洗/ N2吹

2. 工藝流程

手動加載，自動順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器，程序控制PLC式


6/8英寸全自動槽式清洗機

GAMA系列6/8英寸全自動槽式清洗機滿足全部濕法工藝需求，覆蓋RCA

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