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金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/11/13 13:31:57
- 訪問次數(shù) 3724
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系方式：吳運祥18916157635 查看聯(lián)系方式
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 |
概述：
NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制，*的安全互鎖。
目前，這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備應(yīng)用：
- Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備特點：
- 獨立系統(tǒng)
- 14”不銹鋼立方體腔體
- 1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
- 加熱的氣體管路
- RF等離子源，自動調(diào)諧
- 淋浴頭氣體分布
- 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
- N2沖洗
- 手動放置晶圓片
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