PECVD 維意真空等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備

維意真空等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備

PE-CVD結(jié)構(gòu)特點(diǎn)介紹：
1、PECVD系列真空管式高溫?zé)Y(jié)爐如圖所示,集控制系統(tǒng)與爐膛為一體；
2、爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料，采用進(jìn)口高溫合金電阻絲為加熱元件；
3、高純石英管橫穿于爐體中間作為的爐膛，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，工件式樣在管中加熱，加熱元件與爐管平行，均勻地分布在爐管外，有效的保證了溫場(chǎng)的均勻性；
4、測(cè)溫采用性能穩(wěn)定，長(zhǎng)壽命的“K”型熱電偶，以提高控溫的精準(zhǔn)性；
5、它是專為高等院校﹑科研院所及工礦企業(yè)對(duì)金屬，非金屬及其它化和物材料在氣氛或真空狀態(tài)下進(jìn)行燒結(jié)﹑融化﹑分析而研制的設(shè)備；
6、MPECVD系列真空管式爐能夠快速開(kāi)啟，快速升降溫，方便客戶對(duì)特殊材料的裝載，燒制和觀察；
7、爐體的控制面板配有觸摸屏，控制電源開(kāi)關(guān)，配有電源和保險(xiǎn)指示燈，以便隨時(shí)觀察本系統(tǒng)的工作狀態(tài)。

維意真空等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備
*** 基本功能介紹：
1、輝光放電：在系統(tǒng)低于100Pa啟動(dòng)射頻電源可以實(shí)現(xiàn)輝光放電；
2、加熱：系統(tǒng)可以設(shè)置30段溫控程序，彩屏系統(tǒng)預(yù)存15條燒培曲線，針對(duì)不同的樣品，設(shè)置不同的預(yù)設(shè)曲線，避免重復(fù)設(shè)置；
 3、自動(dòng)清洗功能：樣品放入線圈的區(qū)域，配置好參數(shù)（PECVD功能配置），系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)抽真空，并
通入設(shè)置的氣體，自動(dòng)啟動(dòng)輝光放點(diǎn)；
4、自動(dòng)cvd功能：樣品放入線圈的區(qū)域，配置好參數(shù)（PECVD功能配置），系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)抽真空，并通入設(shè)置的氣體，自動(dòng)啟動(dòng)輝光放點(diǎn)；
5、智能能模式：實(shí)現(xiàn)自動(dòng)清洗和cvd功能，樣品不需移出，清洗cvd功能一鍵完成，并能實(shí)現(xiàn)多次的循環(huán)操作；
6、通氣時(shí)間可以設(shè)定：通過(guò)界面設(shè)置通氣時(shí)間，時(shí)間到后，系統(tǒng)自動(dòng)停止流量計(jì)，達(dá)到節(jié)能環(huán)保的目的；
7、恒定真空控制：系統(tǒng)設(shè)置一個(gè)真空度的數(shù)值（見(jiàn)參數(shù)“真空設(shè)定值”），配合手動(dòng)閥和真空泵，系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)真空的恒定；
8、系統(tǒng)微正壓控制：系統(tǒng)設(shè)置一個(gè)正壓值（見(jiàn)參數(shù)“真空設(shè)定值”），并配置好相應(yīng)的氣路，配合手動(dòng)放氣閥，可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)微正壓的恒定；
9、系統(tǒng)正壓保護(hù)功能：當(dāng)因?yàn)檎`操作或者其他原因，系統(tǒng)壓力超過(guò)保護(hù)值時(shí)（見(jiàn)參數(shù)“放氣閥開(kāi)啟壓力”），系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)關(guān)閉進(jìn)氣，保護(hù)設(shè)備；
10、加熱爐膛移動(dòng)的速度可以調(diào)節(jié)。

 該系列PECVD系統(tǒng)具有固態(tài)等離子源、分開(kāi)式反應(yīng)氣體進(jìn)氣系統(tǒng)，動(dòng)態(tài)襯底溫控，全面控制真空系統(tǒng)，采用集中現(xiàn)場(chǎng)控制總線技術(shù)的“值守精靈”控制軟件，以及友好用戶操作界面來(lái)操作。適用于室溫至1400℃條件下進(jìn)行的SiO2、SiNx,、?SiONx?a-Si薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)或氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。?
*** 主要特點(diǎn)：
??清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；
??上開(kāi)啟結(jié)構(gòu)，式樣觀察方便；
??觸屏人機(jī)對(duì)話整體性操作，安全可靠；;
??產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示。
??真空系統(tǒng)、工作壓強(qiáng)、電源系統(tǒng)及自動(dòng)匹配、工藝氣體流量、加熱系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、工藝過(guò)程、系統(tǒng)監(jiān)控及數(shù)據(jù)采集等