官方微信|手機版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備> 微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)

分享
舉報 評價

微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/8/12 15:27:18
  • 訪問次數(shù) 1678

聯(lián)系方式:吳運祥查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!



那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀,包含飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)、質子轉移反應(PTR)質譜儀、電子轟擊電離(EI)質譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)概述:NANO-MASTER PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜,至大可達6” 直徑的基片上,該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子,具有分形氣流分布的優(yōu)勢,樣品臺可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵,腔體可以達到低至10-7 torr的真空。

  • 標準配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC;

  • 帶有氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求,無論是等離子強度、均勻度,還是要分別激活某些活性組份;

  • 系統(tǒng)可以覆蓋z廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。

微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)應用:

  1. 等離子誘導表面改性:就是通常所說的用等離子實現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等);

  2. 等離子清洗:去除有機污染物;

  3. 等離子聚合:對材料表面產(chǎn)生聚合反應;

  4. 沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石),以及其它薄膜;

  5. CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長:在需要的位置生長CNT或石墨烯。

特點:

  • 立式系統(tǒng)

  • 自動上下載片,帶預真空鎖

  • 不銹鋼或鋁制腔體

  • 極限真空可達10-7Torr

  • RF淋浴頭,HCD或微波等離子源

  • 高達6”(150mm)直徑的樣品臺

  • RF射頻偏壓樣品臺

  • 水冷樣品臺

  • 可加熱到的800 °C樣品臺

  • 加熱的氣體管路

  • 加熱的液體傳送單元

  • 抗腐蝕的渦輪分子泵組

  • z大可支持到8MFC

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 菜單驅動,4級密碼訪問保護

  • 完整的安全聯(lián)鎖




化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息: