等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
- 公司名稱 武漢賽斯特精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2021/6/22 15:34:49
- 訪問次數(shù) 538
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實驗室檢測儀器，測試儀器設(shè)備等
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
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等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品特點：
等離子源采用頻率為13.56MHz射頻發(fā)生器，同時具備物理清洗和化學(xué)清洗能力。
電源功率為200W，覆蓋常規(guī)處理需求
創(chuàng)新設(shè)計，可調(diào)整電極之間距離，調(diào)整等離子體濃度和強度，大提升處理效率和能力
真空腔體和管道連接件均采用316不銹鋼，電極6061航空鋁合金，配件材質(zhì)精良，保證設(shè)備穩(wěn)定高效運行
樣品處理面積可達(dá)125mm（大處理面積可達(dá)200mm，如有需求請咨詢銷售人員）
4.3寸工業(yè)級觸摸屏，操作簡單，可設(shè)置多種實驗參數(shù)
性能穩(wěn)定可靠，質(zhì)量穩(wěn)定，自主研發(fā)，售后有保障
等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品參數(shù):
1. 真空腔規(guī)格: 316不銹鋼腔體,直徑210mm*(深)230mm 約4L
2. 電極：兩個自適應(yīng)平板電極，材質(zhì)T6061鋁合金
3. 電極尺寸：120*135mm 間距20~75mm 可調(diào)
4. 等離子體發(fā)生器：RF射頻發(fā)生器，頻率：13.56MHz
5. 功率：0-200W連續(xù)可調(diào)，精度1W
6. 氣體控制：針式氣體流量閥，標(biāo)配1路氣體
7. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏
控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)，
可顯示設(shè)置值與實際值，便于實時控制。
可自由設(shè)置等離子功率，通入氣體時間
全手動控制和全自動控制可選
8. 保護(hù)裝置：一鍵急停保護(hù)按鈕
等離子體表面處理系統(tǒng)Pluto-M?參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)配置) | |||
外部尺寸 | 404*640*515mm |
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真空腔尺寸 | 直徑210mm*230mm | 不銹鋼腔體 | |
電極尺寸 | 125*125mm | 多空自適應(yīng)平板電極 | |
等離子體發(fā)生器 | RF射頻發(fā)生器，頻率：13.56MHz | 自適應(yīng)阻抗匹配電源 | |
功率 | 0-200W連續(xù)可調(diào) | 精度1W | |
真空計 | 熱電偶真空計 0-1000mT |
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供氣 | 1路氣體 | 6mm國標(biāo)連接件（軟管） | |
控制方式 | 4.3寸觸摸屏 |
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可 選 配 置 | |||
ALC | 純鋁腔體 |
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RF-300 | 等離子體發(fā)生器 | 頻率13.56MHz ，0-300W自動阻抗匹配電源 | |
可調(diào)電極 | 可調(diào)節(jié)電極間距 | 電極間距20-60mm可調(diào)，改變等離子體場濃度特性 | |
CM裝置 | 沉積鍍膜模塊 | 用于改變表面特性： 1. 沉積CF材料，樣品表面可以具有憎水的特性 2. 沉積含苯材料，樣品表面起到絕緣防水的特性 3. 沉積含有羥基的材料，提高樣品表面和其他材料的結(jié)合效果。 | |
GP裝置 | 氣體純化裝置 |
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PPU | 粉體處理裝置 | 用于處理微納米級別顆粒 | |
| 氣體收集裝置 | 用于收集等離子體化學(xué)反應(yīng)后的氣體 | |
| 小型氧氣發(fā)生器 | 用于制備氧氣，可取代氧氣罐 | |
| 氣體混合裝置 | 可以根據(jù)可以要求進(jìn)行混氣設(shè)計 | |
| 感應(yīng)耦合模塊 | 感應(yīng)耦合等離子體裝置 | |
| 加熱電極模塊 | 電極可以加熱，室溫~200度可調(diào)。 | |
| 光譜儀模塊 | 可以增加光譜儀的接口，檢測等離子體光譜變化 | |
| 電極轉(zhuǎn)換模塊 | 可以自由變換電極設(shè)計，樣品可以放在射頻電極上，也可以放在地電極上。從而實現(xiàn)不同的處理效果。 | |
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