化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備> ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐
- 公司名稱 廈門地坤科技有限公司
- 品牌 廈門地坤
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2021/10/29 12:09:02
- 訪問(wèn)次數(shù) 1600
聯(lián)系方式:黃工18060909291 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
---|
ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-145-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-220-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-270-15立式化學(xué)氣相沉積爐
ZT-550-15立式化學(xué)氣相沉積爐
一、設(shè)備用途:
化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。
二、設(shè)備特點(diǎn):
1、立式結(jié)構(gòu),爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動(dòng)升降。
2、雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,外層為碳鋼,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/span>
3、控制方式為PLC加觸摸屏方式,有手動(dòng)及自動(dòng)控制切換。自動(dòng)化程度高,操作方便。
4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩(wěn)定、可靠。
5、配備出、裝料料車,方便操作及出裝料,提高工作效率。
ZT-60-15立式化學(xué)氣相沉積爐三、主要技術(shù)參數(shù):
No.型號(hào)工作區(qū)尺寸(?XH)mm高溫度 (℃)真空度 (Pa)壓升率
(Pa/h)溫度均勻性(℃)功率(KW)
1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060
2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145
3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220
4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275
5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550
注:爐膛尺寸可按您的要求定做
HZT-100-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
HZT-145-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
HZT-360-15臥式化學(xué)氣相沉積爐
一、設(shè)備用途:
化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制備。
二、設(shè)備特點(diǎn):
1、臥式結(jié)構(gòu),雙爐門結(jié)構(gòu),爐門啟閉采用氣動(dòng)方式。
2、雙層爐殼結(jié)構(gòu),內(nèi)層不銹鋼,外層為碳鋼,中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體,石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/span>
3、控制方式為PLC加觸摸屏方式,有手動(dòng)及自動(dòng)控制切換。自動(dòng)化程度高,操作方便。
4、主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩(wěn)定、可靠。
5、配備出、裝料料車,方便操作及出裝料,提高工作效率。
三、主要技術(shù)參數(shù):
No. | 型號(hào) | 工作區(qū)尺 (WXHXL)mm | 高溫度 (℃) | 真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 溫度均勻性 (℃) | 功率 (KW) |
1 | HZT-100-15 | 400X400X600 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 100 |
2 | HZT-145-15 | 500X500X750 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 145 |
3 | HZT-145-15 | 600X600X900 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 190 |
4 | HZT-360-15 | 700X700X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 360 |