化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>HMPS-2060SP 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MPCVD爐
HMPS-2060SP 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MPCVD爐
- 公司名稱 成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) HMPS-2060SP
- 產(chǎn)地 四川成都雙流區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2022/4/21 15:50:50
- 訪問次數(shù) 477
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 微波加熱 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 儀器種類 | 真空爐 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子,冶金,綜合 | 最大功率 | 6000kW |
| 功率 | 6kW | 頻率 | 2450MHz |
| 生長(zhǎng)尺寸 | 2英寸 |
【MPCVD培育鉆石】HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及MPCVD設(shè)備生產(chǎn)、具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)……，我司生產(chǎn)的這款型號(hào)為HMPS-2060SP的微波等離子體CVD設(shè)備（CVD鉆石生長(zhǎng)設(shè)備）具有以下優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：
. 采用沃特塞恩第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源；上饋式圓柱型放電腔。
. 性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。
. 多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)。
應(yīng)用范圍
高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng)。
多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
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