一、產品概述：

四探針電阻率測試儀是一種精密測量工具，專用于評估各種材料的電阻率，尤其在半導體和材料科學領域中具有重要應用。該設備通過其特殊的四探針設計，能夠提供高精度和快速的電阻率測量，適用于不同類型的固體材料。

二、設備用途/原理：

·設備用途

四探針電阻率測試儀廣泛應用于半導體材料的研發(fā)、電子元件的性能測試以及新材料的電性能評估。它能夠幫助研究人員和工程師深入理解材料的導電特性，從而推動新技術的開發(fā)和應用。

·工作原理

該儀器的工作原理基于四個探針的布局，其中外側探針施加已知電流，內側探針測量因電流通過材料而產生的電壓降。通過歐姆定律和幾何因素的計算，儀器能夠準確得出材料的電阻率，減少接觸電阻帶來的誤差，從而提高測量的準確性。

三、主要技術指標：

1. 應用：半導體材料、太陽能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、Ag納米線等)、導電薄膜(金屬、離子等)，擴散層，硅相關外延材料，離子注入樣品

2. 樣品尺寸：基于所選擇的平臺而定，圓形樣品大支持300mm(12 inch)，或方形大尺寸730x920mm

3. 測量范圍：

    V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω

    方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

    電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm