DY-2000A 納米通用圖形發(fā)生器
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京中科復(fù)華科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DY-2000A
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/4/3 9:03:43
- 訪問次數(shù) 148
產(chǎn)品標(biāo)簽
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納米圖形發(fā)生器，離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機、去膠設(shè)備等
一種圖形發(fā)生器，用于電子束、離子
束等帶電粒子的曝光機，屬于曝光機的圖形
發(fā)生器硬件。本實用新型提供一種運算速度
快、接口簡單、功耗低、功能多樣的曝光機
用的圖形發(fā)生器，它以高速數(shù)字信號處理器
為核心，通過通用串行總線接口 和上位機實現(xiàn)通訊，該圖形發(fā)生器不僅可以滿足以三角形，矩形和梯形為基本曝光單元圖形的曝光格式，而且 增加了圓及圓環(huán)為具本曝光單元圖形，解決了集成光柵器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本實用新型由接口電路、雙端口存儲器電路、數(shù)學(xué)信號處理器電路、數(shù)模轉(zhuǎn)換電路、曝光標(biāo)記檢測控制電路、標(biāo)記檢測電路、最終曝光數(shù)據(jù)寄存器單元和束閘控制電路相互連接構(gòu)。
曝光精度：100納米
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