IONOPTIKA C60-20S 離子源系統(tǒng)
- 公司名稱 上海富瞻環(huán)??萍加邢薰?/a>
- 品牌 IONOPTIKA
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/11/5 12:34:56
- 訪問次數(shù) 19
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非甲烷總烴在線監(jiān)測儀,有機揮發(fā)物氣體監(jiān)測儀,沼氣檢測儀,大氣環(huán)境在線檢測儀,空氣質(zhì)量指數(shù)檢測儀器,大氣氣象綜合分析系統(tǒng),林業(yè)大氣環(huán)境檢測儀,交通環(huán)境大氣污染檢測,惡臭工作站
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 四極桿質(zhì)譜 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥 |
IONOPTIKA C60-20S 離子源系統(tǒng)
產(chǎn)品特點
雖然所有離子束都會濺射或蝕刻,但我們的一些系統(tǒng)的表面是專為高效和快速濺射而設(shè)計的。濺射光束有三個特點:高電流、大光斑尺寸和寬視場。這些特性的結(jié)合意味著它們可以在大面積上盡快輸送大劑量的離子,以優(yōu)化蝕刻速率。
詳細(xì)介紹
簡介:
C60-20S是一種高性能離子束,設(shè)計用于濺射表面,具有較小的損傷和減少的沿周濺射效應(yīng)。
C60-20S在高達(dá)20 kV的電壓下工作,可有效地濺射材料,且損傷較小,無需重新沉積碳。
C60是XPS、AES和SIMS的理想升級組件,可在多種材料上均勻濺射。
主要參數(shù):
特點:
◇ 電流密度高,蝕刻速度更快;
◇ 與單原子束相比,可減少化學(xué)損傷;
◇ 不同材料和晶體取向的濺射率一致;
◇ 閘閥,便于快速維修;
◇ 源壽命長;
應(yīng)用領(lǐng)域:
◇ 聚合物的高速、低化學(xué)損傷蝕刻;
◇ C60離子濺射的速度比單原子束(包括氬和氙)快50倍,同時 對底層材料造成的損害要小得多;
◇ 下圖比較了15kevC60濺射產(chǎn)率與15kev金、氙鎵和氬的TRIM數(shù)據(jù)。在相反例子中,用C60和單原子氬離子束濺射清洗PTFE薄膜;
◇ 雖然兩種離子束都去除了表面污染,但只有C60離子束的表 面化學(xué)性質(zhì)沒有發(fā)生變化;