化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>CY-PECVD100-1200-Q PECVD氣相沉積
CY-PECVD100-1200-Q PECVD氣相沉積
參考價(jià) | ¥ 60000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-PECVD100-1200-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/17 11:51:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 59
PECVD氣相沉積等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉PECVD氣相沉積系統(tǒng)CVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積化學(xué)氣相沉積
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
簡(jiǎn)單介紹:
PECVD氣相沉積在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用
詳情介紹:
是化學(xué)氣相淀積的一種,其特點(diǎn)是在低溫下利用等離子體的激活作用來(lái)增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是沉積溫度低,沉積速率快,而且制得的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及**的臺(tái)階覆蓋性。
應(yīng)用領(lǐng)域:
等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種試驗(yàn)場(chǎng)所??稍谄瑺罨蝾愃菩螤顦悠繁砻娉练eSiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、**裝飾等領(lǐng)域,在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用.
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | PECVD氣相沉積 |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-PECVD-500T-SS |
腔體尺寸 | φ500 |
溫區(qū)長(zhǎng)度 | 200 |
射頻電源 | 500W- |
溫度 | 1000℃- |
前級(jí)泵 | 分子泵組 |
顯示類型 | T |
溫區(qū) | I- |
水冷機(jī) | CW5200 |
腔體材質(zhì) | SS |
樣品加熱加熱溫度 | RT-1000℃以上,溫控精度:±1°C,采用控溫表進(jìn)行控溫; 可調(diào)轉(zhuǎn)速:1-20rpm可調(diào) |
噴淋頭尺寸 | Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距40-100mm在線連續(xù)可調(diào)(可根據(jù)工藝調(diào)整),并帶有標(biāo)尺指數(shù)顯示 |
樣品臺(tái) | 直徑200mm |
沉積工作真空 | 0.133-133Pa(可根據(jù)工藝調(diào)整) |
頂部法蘭 | 可通過(guò)馬達(dá)提升,基板更換方便,有可視口 |
基板臺(tái) | 基板臺(tái)的線性和方位角運(yùn)動(dòng),基板加熱和溫度控制,安裝臺(tái)和觸摸屏控制,基板線性運(yùn)動(dòng)是手動(dòng)控制的,基板旋轉(zhuǎn)是由直流電動(dòng)機(jī)控制的 |
真空腔體 | 前開門式,φ500mm X 500mm 不銹鋼材質(zhì) |
觀察窗 | φ100mm 帶擋板 |
質(zhì)量流量計(jì) | 六路質(zhì)量流量計(jì) |
氣路數(shù)量 | 六路 |
承壓范圍 | -0.15Mpa~0.15Mpa |
量程 | 0~100 SCCM(氧氣) 0~100 SCCM(CF4) 0~200 SCCM (SF6) 0~200 SCCM (氬氣) 0~500 SCCM (其他氣體空氣) 0-500sccm (其他氣體氮?dú)猓?/span> |
流量控制范圍 | ±1.5% |
氣路材料 | 304不銹鋼 |
管道接口 | 6.35mm卡套接頭 |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵:無(wú)油真空泵4.7L/S 分子泵:1200L/S |
測(cè)量范圍 | 1×10-5~1×105Pa |
測(cè)量精度 | 1×10-5~1×10-4Pa ±40%的讀數(shù) 1×10-4~1×105Pa ±20%的讀數(shù) |