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Helios Hydra DualBeam

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Helios Hydra聚焦離子束DualBeam

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       賽默飛世爾科技賽默飛世爾科技（紐約證交所代碼：TMO）是科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者。公司年銷售額超過250億美元。在全球擁有約70,000名員工。我們的使命是攜手客戶，讓世界更健康、更清潔、更安全。我們幫助客戶加速生命科學(xué)領(lǐng)域的研究、解決在分析領(lǐng)域所遇到的復(fù)雜問題與挑戰(zhàn)，促進(jìn)醫(yī)療診斷發(fā)展、加速藥物上市進(jìn)程、提高實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)力。我們?nèi)虺^75,000名賽默飛員工將借助于一系列行業(yè)領(lǐng)先的品牌Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific、Unity Lab Services和Patheon，為客戶提供另想的創(chuàng)新技術(shù)、便捷采購方案和全方位服務(wù)。

      欲了解更多信息，請(qǐng)瀏覽公司網(wǎng)站：www.thermofisher.com 賽默飛世爾科技中國簡介賽默飛世爾科技進(jìn)入中國發(fā)展已超過35年，在中國的總部設(shè)于上海，并在北京、廣州、香港、成都、沈陽、西安、南京、武漢、昆明等地設(shè)立了分公司，員工人數(shù)約為5000名。我們的產(chǎn)品主要包括分析儀器、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、試劑、耗材和軟件等，提供實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案，為各行各業(yè)的客戶服務(wù)。為了滿足中國市場的需求，現(xiàn)有7家工廠分別在上海、北京、蘇州和廣州等地運(yùn)營。我們在全國還設(shè)立了8個(gè)應(yīng)用開發(fā)中心以及示范實(shí)驗(yàn)室，將世界級(jí)的前沿技術(shù)和產(chǎn)品帶給中國客戶，并提供應(yīng)用開發(fā)與培訓(xùn)等多項(xiàng)服務(wù)；擁位于上海的中國創(chuàng)新中心，擁有有100多位專業(yè)研究人員和工程師及70多項(xiàng)專利。創(chuàng)新中心專注于針對(duì)垂直市場的產(chǎn)品研究和開發(fā)，結(jié)合中國市場的需求和國外先進(jìn)技術(shù)，研發(fā)適合中國的技術(shù)和產(chǎn)品；我們擁有遍布全國的維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)和特別成立的中國技術(shù)培訓(xùn)團(tuán)隊(duì)，在全國有超過2600名專業(yè)人員直接為客戶提供服務(wù)。我們致力于幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。

      欲了解更多信息，請(qǐng)登錄網(wǎng)站：www.thermofisher.com 全國服務(wù)熱線：021-61621892公司電子郵箱：sales.china@thermofisher.com

科學(xué)儀器

Helios  Hydra DualBeam

Helios  Hydra DualBeam具有多個(gè)離子種類、適用于 3D EM 和 TEM 樣品制備的等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡檢查


Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam（等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡，簡稱 PFIB-SEM）可以提供四種不同的離子種類作為主離子束，讓您可以選擇能為樣品和用例（如掃描透射電子顯微鏡 [STEM] 和透射電子顯微鏡 [TEM] 樣品制備和 3D 材料表征）提供最佳結(jié)果的離子。

您可以在不到十分鐘的時(shí)間里輕松地在氬、氮、氧和氙之間切換而不會(huì)犧牲性能。 這種的靈活性極大地?cái)U(kuò)展了 PFIB 的潛在應(yīng)用領(lǐng)域，并可實(shí)現(xiàn)通過研究離子-樣品相互作用來優(yōu)化現(xiàn)有用例。

Helios 5 Hydra DualBeam 將創(chuàng)新的新型多離子種類等離子 FIB (PFIB) 柱與單色 Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 色譜柱相結(jié)合，提供先進(jìn)的聚焦離子和電子束性能。直觀的軟件和的自動(dòng)化水平和易用性可以觀察和分析相關(guān)的亞表面體積信息。

主要特點(diǎn)

應(yīng)用空間廣泛

離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類，應(yīng)用空間最為廣泛：Xe、Ar、O、N

先進(jìn)的自動(dòng)化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件，以最快速輕松的方式實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化多點(diǎn)原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片


納米級(jí)實(shí)現(xiàn)周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)，任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶都可以最短時(shí)間獲得納米級(jí)信息

電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻

通過選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng)，在 DualBeam 系統(tǒng)上實(shí)現(xiàn)的電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻功能。

無偽影成像

基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

高通量和高質(zhì)量

使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進(jìn)行高通量、高質(zhì)量和統(tǒng)計(jì)學(xué)相關(guān)的 3D 表征、交叉切片和微加工。

高質(zhì)量樣品制備

由于采用新型 PFIB 色譜柱，可實(shí)現(xiàn) 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能，可以用氙、氬或氧進(jìn)行高質(zhì)量無鎵 TEM 和 APT 樣品制備。

完整的樣品信息

可通過多達(dá)六個(gè)集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無電荷對(duì)比度的最完整的樣品信息

精確的樣品導(dǎo)航

借助 150 mm 壓電載物臺(tái)的高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性或 110 mm 載物臺(tái)的靈活性以及選配的腔室內(nèi) Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機(jī)，可根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行定制。

性能數(shù)據(jù)


Helios 5 Hydra CX DualBeamHelios 5 Hydra UX DualBeam
電子束分辨率

  • 在最佳 WD：

    • 1 kV 時(shí) 0.7 nm

    • 500 V (ICD) 時(shí) 1.0 nm

  • 在重合點(diǎn)：

    • 15 kV 時(shí) 0.6 nm

    • 1 kV 時(shí) 1.2 nm

電子束參數(shù)空間

  • 電子束電流范圍：在所有加速電壓下 0.8 pA 至 100 nA

  • 加速電壓范圍：350 V – 30 kV

  • 著陸能量范圍：20* eV – 30 keV

  • 最大水平射野寬度：4 mm WD 時(shí) 2.3 mm

離子光學(xué)系統(tǒng)

高性能 PFIB 色譜柱，具有的電感耦合等離子 (ICP) 源，支持四種離子種類，并具有快速切換能力

  • 離子種類（初級(jí)離子束）：Xe、Ar、O、N

  • 切換時(shí)間 <10 分鐘，僅需軟件操作

  • 離子束電流范圍：1.5 pA 至 2.5 μA

  • 加速電壓范圍：500V – 30 kV

  • 最大水平射野寬度：在等離子束重合點(diǎn)處為 0.9 mm 

重合點(diǎn)時(shí)的氙離子束分辨率

  • <使用統(tǒng)計(jì)方法在 30 kV 時(shí)為 20 nm

  • 使用選擇性邊緣方法在 30 kV 時(shí) <10 nm

腔室

  • 在分析 WD 時(shí)的 E 和 I 束重合點(diǎn) (4 mm SEM)

  • 端口：21

  • 內(nèi)部寬度：379 mm

  • 集成式等離子清潔器

探頭

  • Elstar 色譜柱鏡筒內(nèi) SE/BSE 探頭（TLD-SE、TLD-BSE）

  • Elstar 色譜柱柱內(nèi) SE/BSE 探頭 (ICD)*

  • Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD)

  • 查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機(jī)

  • 用于二級(jí)離子 (SI) 和二級(jí)電子 (SE) 的高性能腔室內(nèi)電子和離子探頭 (ICE)

  • 腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)*

  • 可伸縮、低電壓、高對(duì)比度、定向、固態(tài)反向散射電子探頭 (DBS)*

  • 集成的等離子束電流測量 

 
載物臺(tái)和樣品

靈活的五軸電動(dòng)載物臺(tái)：

  • XY 范圍：110 mm

  • Z 范圍：65 mm

  • 旋轉(zhuǎn)：360°（無限）

  • 傾斜范圍：-38° 至 +90°

  • XY 重復(fù)性：3 μm

  • 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 85 mm

  • 0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：5 kg（包括樣品架）

  • 最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時(shí) 110 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）

  • 計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

高精度五軸電動(dòng)載物臺(tái)，配有壓電驅(qū)動(dòng)的 XYR 軸

  • XY 范圍：150 mm

  • Z 范圍：10 mm

  • 旋轉(zhuǎn)：360°（無限）

  • 傾斜范圍：-38° 至 +60°

  • XY 重復(fù)性：1 μm

  • 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 55 mm

  • 0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：500 g（包括樣品架）

  • 最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時(shí) 150 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）

  • 計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜






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