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Helios 5 PFIB DualBeam

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Helios 5 PFIB聚焦離子束DualBeam

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       賽默飛世爾科技賽默飛世爾科技（紐約證交所代碼：TMO）是科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者。公司年銷售額超過250億美元。在全球擁有約70,000名員工。我們的使命是攜手客戶，讓世界更健康、更清潔、更安全。我們幫助客戶加速生命科學(xué)領(lǐng)域的研究、解決在分析領(lǐng)域所遇到的復(fù)雜問題與挑戰(zhàn)，促進(jìn)醫(yī)療診斷發(fā)展、加速藥物上市進(jìn)程、提高實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)力。我們?nèi)虺^75,000名賽默飛員工將借助于一系列行業(yè)領(lǐng)先的品牌Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific、Unity Lab Services和Patheon，為客戶提供另想的創(chuàng)新技術(shù)、便捷采購方案和全方位服務(wù)。

      欲了解更多信息，請(qǐng)瀏覽公司網(wǎng)站：www.thermofisher.com 賽默飛世爾科技中國簡介賽默飛世爾科技進(jìn)入中國發(fā)展已超過35年，在中國的總部設(shè)于上海，并在北京、廣州、香港、成都、沈陽、西安、南京、武漢、昆明等地設(shè)立了分公司，員工人數(shù)約為5000名。我們的產(chǎn)品主要包括分析儀器、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、試劑、耗材和軟件等，提供實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案，為各行各業(yè)的客戶服務(wù)。為了滿足中國市場(chǎng)的需求，現(xiàn)有7家工廠分別在上海、北京、蘇州和廣州等地運(yùn)營。我們?cè)谌珖€設(shè)立了8個(gè)應(yīng)用開發(fā)中心以及示范實(shí)驗(yàn)室，將世界級(jí)的前沿技術(shù)和產(chǎn)品帶給中國客戶，并提供應(yīng)用開發(fā)與培訓(xùn)等多項(xiàng)服務(wù)；擁位于上海的中國創(chuàng)新中心，擁有有100多位專業(yè)研究人員和工程師及70多項(xiàng)專利。創(chuàng)新中心專注于針對(duì)垂直市場(chǎng)的產(chǎn)品研究和開發(fā)，結(jié)合中國市場(chǎng)的需求和國外先進(jìn)技術(shù)，研發(fā)適合中國的技術(shù)和產(chǎn)品；我們擁有遍布全國的維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)和特別成立的中國技術(shù)培訓(xùn)團(tuán)隊(duì)，在全國有超過2600名專業(yè)人員直接為客戶提供服務(wù)。我們致力于幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。

      欲了解更多信息，請(qǐng)登錄網(wǎng)站：www.thermofisher.com 全國服務(wù)熱線：021-61621892公司電子郵箱：sales.china@thermofisher.com

科學(xué)儀器

用于 TEM 樣品制備（包括 3D 表征、橫截面成像和微加工）的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡

Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam（聚焦離子束掃描電子顯微鏡或 FIB-SEM）是具有的功能，專用于材料科學(xué)和半導(dǎo)體應(yīng)用的顯微鏡。材料科學(xué)研究人員可以通過 Helios 5 PFIB DualBeam 實(shí)現(xiàn)大體積 3D 表征、無鎵樣品制備和精確的微加工。半導(dǎo)體設(shè)備、先進(jìn)包裝技術(shù)和顯示設(shè)備的制造商通過 Helios 5 PFIB DualBeam 可實(shí)現(xiàn)無損傷、大面積反處理、快速樣品制備和高保真故障分析。

材料科學(xué)的主要特點(diǎn)


無鎵 STEM 和 TEM 樣品制備

由于新 PFIB 色譜柱可實(shí)現(xiàn) 500 V Xe+ 最終拋光和所有操作條件下的優(yōu)異性能，因此可以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、無鎵  TEM 和 APT 樣品制備。

新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱

使用新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱 (PFIB) 實(shí)現(xiàn)高通量和高質(zhì)量的統(tǒng)計(jì)學(xué)相關(guān) 3D 表征、橫截面成像和微加工。

低能量下具有亞納米性能

憑借具有高電流 UC+ 單色器技術(shù)的 Elstar 電子色譜柱，可以在低能量下實(shí)現(xiàn)亞納米性能，從而顯示最細(xì)致的細(xì)節(jié)信息。

先進(jìn)的功能

通過 FIB/SEM 系統(tǒng)采用選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)的電子和離子束誘導(dǎo)沉積及蝕刻功能。

短時(shí)間獲得納米級(jí)信息

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)，任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶都可以最短時(shí)間獲得納米級(jí)信息。

先進(jìn)的自動(dòng)化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件最快、地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的多點(diǎn)原位和非原位 TEM 樣品制備以及橫截面成像。

多模式亞表面和 3D 信息

使用選配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件，訪問高質(zhì)量、多模式亞表面和 3D 信息并精確定位感興趣區(qū)。

完整的樣品信息

可通過多達(dá)六個(gè)集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成檢測(cè)器獲得清晰、精確且無電荷對(duì)比度的最完整的樣品信息。

無偽影成像

無偽影成像基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan™ 和 DCFI 模式。

精確的樣品導(dǎo)航

由于 150 mm 壓電載物臺(tái)和選配腔室內(nèi) Nav-Cam 導(dǎo)航具有高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性，可根據(jù)具體應(yīng)用需求定制精確的樣品導(dǎo)航。

材料科學(xué)規(guī)格

Helios 5 PFIB CXe DualBeamHelios 5 PFIB UXe DualBeam
電子光學(xué)系統(tǒng)

  • Elstar 超高分辨率場(chǎng)發(fā)射 SEM 色譜柱，具有：

    • 浸沒式磁物鏡

    • 可提供穩(wěn)定的高分辨率分析電流的高穩(wěn)定性肖特基場(chǎng)發(fā)射槍

    • UC+ 單色器技術(shù)

電子束分辨率

  • 在優(yōu)化工作距離 (WD) 處：

    • 1 kV 時(shí) 0.7 nm

    • 500 V (ICD) 時(shí) 1.0 nm

  • 在重合點(diǎn)：

    • 15 kV 時(shí) 0.6 nm

    • 1 kV 時(shí) 1.2 nm

電子束參數(shù)空間

  • 電子束電流范圍：0.8 pA 至 100 nA

  • 加速電壓范圍：200 V – 30 kV

  • 著陸能量范圍：20* eV – 30 keV

  • 最大水平射野寬度：4 mm WD 時(shí) 2.3 mm

離子光學(xué)系統(tǒng)

  • 高性能 PFIB 色譜柱，帶電感耦合 Xe+ 等離子 (ICP)

    • 離子束電流范圍：1.5 pA 至 2.5 µA

    • 加速電壓范圍： 500 V - 30 kV

    • 最大水平射野寬度：在等離子束重合點(diǎn)處為 0.9 mm

  • 重合點(diǎn)時(shí)的離子束分辨率

    • <使用統(tǒng)計(jì)方法在 30 kV 時(shí)為 20 nm

    • <在 30 kV 下使用選擇角方法時(shí)為 10 nm

檢測(cè)器

  • Elstar 鏡筒內(nèi) SE/BSE 檢測(cè)器（TLD-SE、TLD-BSE）

  • Elstar 色譜柱內(nèi) SE/BSE 檢測(cè)器 (ICD)*

  • Everhart-Thornley SE 檢測(cè)器 (ETD)

  • 查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機(jī)

  • 用于二級(jí)離子 (SI) 和二級(jí)電子 (SE) 的高性能離子轉(zhuǎn)換和電子 (ICE) 檢測(cè)器

  • 腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)*

  • 可伸縮、低電壓、高對(duì)比度、定向、固態(tài)反向散射電子檢測(cè)器 (DBS)*

  • 集成的等離子束電流測(cè)量

載物臺(tái)和樣品

靈活的 5 軸電動(dòng)平臺(tái)：

  • XY 范圍：110 mm

  • Z 范圍：65 mm

  • 旋轉(zhuǎn)：360°（無限）

  • 傾斜范圍：-38° 至 +90°

  • XY 重復(fù)性：3 μm

  • 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 85 mm

  • 0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：5 kg （包括樣品架）

  • 最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時(shí) 110 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）

  • 計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

高精度，5 軸電動(dòng)樣品臺(tái)（帶 XYR 軸），壓電驅(qū)動(dòng)

  • XY 范圍：150 mm

  • Z 范圍：10 mm

  • 旋轉(zhuǎn)：360°（無限）

  • 傾斜范圍：-38° 至 +60°

  • XY 重復(fù)性：1 μm

  • 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 55 mm

  • 0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量：500 g（包括樣品架）

  • 最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時(shí) 150 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）

  • 計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

















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