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KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)
| 參考價(jià) | ￥50000-￥999999/臺 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/3/9 23:09:27
- 訪問次數(shù) 22
KLA Candela® 7100缺陷檢測分類系統(tǒng)晶圓缺陷檢測和分類系統(tǒng)晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
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KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)這套檢測系統(tǒng)以激光為基礎(chǔ)，能夠?qū)τ脖P驅(qū)動器的基板和介質(zhì)進(jìn)行高靈敏度的表面缺陷檢測，同時(shí)具有多條光學(xué)路徑，用于對亞微米凹坑和微粒進(jìn)行分類。自動化模型Candela 7140配有片盒對片盒傳輸系統(tǒng)。
KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)高級缺陷檢測和分類系統(tǒng)是專為硬盤驅(qū)動器基板和介質(zhì)而設(shè)計(jì)的。高功率雙波長激光器針對當(dāng)前的關(guān)鍵缺陷挑戰(zhàn)進(jìn)行了優(yōu)化，多通道散射檢測器為全系列基板上亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷的分類提供了更高的靈敏度。KLA Candela® 7100系列的功能和穩(wěn)定性確保了一個(gè)平臺可用于多個(gè)工藝控制應(yīng)用點(diǎn)。
功能
通過整個(gè)磁盤的缺陷圖對金屬和玻璃、基板和介質(zhì)上的亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷進(jìn)行檢測和分類
通過整個(gè)磁盤的缺陷圖來更快地獲得結(jié)果，同時(shí)附帶對缺陷進(jìn)行分類以及數(shù)據(jù)輸出可操作的功能
減少對離線檢測技術(shù)(AFM、SEM、TEM等)的依賴，從而降低總擁有成本
提供手動(7110)或全自動(7140)配置
應(yīng)用案例
缺陷檢測
劃痕和隆起檢查
微粒和沾污檢測
激光紋理分析
碳均勻性分析和碳空洞檢測
對記錄層和軟襯層進(jìn)行檢測
潤滑油均勻度分析
磁共振成像
選項(xiàng)
精密的金剛石劃線
高靈敏度選項(xiàng)
磁共振成像
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