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目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>表面微納測(cè)量>>納米壓痕儀>> FPSEM-STE3526混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)MBE

混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)MBE
  • 混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)MBE
參考價(jià)1200000-1550000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

參考價(jià):¥1200000 ~ ¥1550000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 孚光精儀 品牌
  • FPSEM-STE3526 型號(hào)
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 上海市 所在地

更新時(shí)間:2024-12-16 09:22:45瀏覽次數(shù):538評(píng)價(jià)

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生長(zhǎng)室溫度 1200
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)具有雙反應(yīng)器,非常適合А3В5和А2В6異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)應(yīng)用,也可用于epi晶圓研發(fā)和試生產(chǎn)。

這款混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)具有雙反應(yīng)器,非常適合А3В5和А2В6異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)應(yīng)用,也可用于epi晶圓研發(fā)和試生產(chǎn)。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)是提供從А3В5-反應(yīng)器到А2В6-反應(yīng)器的超純超高壓基板傳輸,避免生長(zhǎng)界面的不受控制的污染。
還可以配備V族和VI族元素的閥裂解單元以及所有必要的原位分析工具。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)優(yōu)勢(shì):
•“實(shí)驗(yàn)室到工廠"的概念,允許開展從基礎(chǔ)研究到異質(zhì)結(jié)構(gòu)試生產(chǎn)的活動(dòng)
•鋁(冷唇)專用滲出細(xì)胞,操作穩(wěn)定,鎵(熱唇)提供低橢圓形缺陷密度
•在系統(tǒng)基本配置中對(duì)生長(zhǎng)過程進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)的所有必要工具
•特別設(shè)計(jì)的生長(zhǎng)操縱器,提供高溫均勻性和加熱/冷卻速率動(dòng)態(tài)
•安裝期間的有效技術(shù)支持,包括基本工藝轉(zhuǎn)移
•簡(jiǎn)單的系統(tǒng)操作和定期的技術(shù)維護(hù)
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)MBE

混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)參數(shù):

烘烤后生長(zhǎng)室的最終真空度,Torr<5×10-11
最大基板直徑,mm1003×2block
100mm晶圓的厚度和復(fù)合不均勻度,%±1
“源到基片"距離,mm135÷210
滲出細(xì)胞百葉窗設(shè)計(jì)基于磁耦合旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的無沖擊驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
百葉窗葉片材料鉭、鉬或PBN(可選)
生長(zhǎng)機(jī)械手加熱元件的設(shè)計(jì)PBN/PG/PBN
生長(zhǎng)操縱器的最高工藝溫度,不低于,℃900
NH3-MBE1200
準(zhǔn)備室中基板脫氣溫度,不低于,℃650
III氮化物為1100
生長(zhǎng)室烘烤溫度,不低于,℃200
離子泵容量,不小于,l/s
–生長(zhǎng)室(III-NTMP
–準(zhǔn)備室
–負(fù)載鎖定

800 (2000)
500
300



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