這款混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)具有雙反應(yīng)器,非常適合А3В5和А2В6異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長應(yīng)用,也可用于epi晶圓研發(fā)和試生產(chǎn)。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)是提供從А3В5-反應(yīng)器到А2В6-反應(yīng)器的超純超高壓基板傳輸，避免生長界面的不受控制的污染。
還可以配備V族和VI族元素的閥裂解單元以及所有必要的原位分析工具。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)優(yōu)勢：
•“實驗室到工廠"的概念，允許開展從基礎(chǔ)研究到異質(zhì)結(jié)構(gòu)試生產(chǎn)的活動
•鋁（冷唇）專用滲出細(xì)胞，操作穩(wěn)定，鎵（熱唇）提供低橢圓形缺陷密度
•在系統(tǒng)基本配置中對生長過程進(jìn)行現(xiàn)場監(jiān)測的所有必要工具
•特別設(shè)計的生長操縱器，提供高溫均勻性和加熱/冷卻速率動態(tài)
•安裝期間的有效技術(shù)支持，包括基本工藝轉(zhuǎn)移
•簡單的系統(tǒng)操作和定期的技術(shù)維護(hù)

混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)參數(shù)：