德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第9年

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  • PECVD沉積

    PECVD沉積可選配一個(gè)三極管(Triode)或電感耦合等離子(ICP)源。三極管源使得用戶可以創(chuàng)建高密度等離子,從而控制薄膜應(yīng)力。

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    薄膜沉積PECVD沉積
  • Trion Orion III PECVD薄膜沉積系統(tǒng)

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