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中級(jí)會(huì)員 | 第9年

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NEE-4000E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2017-03-03 10:50:02瀏覽次數(shù):4130次

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NEE-4000E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng): NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,其中樣品臺(tái)位于主腔體內(nèi),二級(jí)腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預(yù)真空鎖,使電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。在需要自動(dòng)裝/卸載基片時(shí),可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實(shí)現(xiàn)。通過PC計(jì)算機(jī)控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程

NEE-4000E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

NEE-4000E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述:

    NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,其中樣品臺(tái)位于主腔體內(nèi),二級(jí)腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預(yù)真空鎖,使電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。在需要自動(dòng)裝/卸載基片時(shí),可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實(shí)現(xiàn)。通過PC計(jì)算機(jī)控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
  • 雙電子束源
  • 多凹槽電子槍
  • 可編程電子束掃描
  • 10KW開關(guān)電源
  • 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
  • 手動(dòng)上下載片,帶預(yù)真空鎖
  • 自動(dòng)上下載片
  • 材料和襯墊更換非常方便
  • 晶振式膜厚監(jiān)測儀
  • 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制
  • 菜單驅(qū)動(dòng),四級(jí)訪問密碼保護(hù)

產(chǎn)品型號(hào):

  • NEE-3500:計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
  • NEE-4000:計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)

 

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