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步進式光刻機

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Canon FPA3000 EX4

品牌佳能

廠商性質經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2024-09-04 14:01:48瀏覽次數(shù):810次

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1、Canon FPA3000 EX4步進式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.25µm
主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生產(chǎn)線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2、產(chǎn)品詳情
主要技術指標
分辨率0.25µm
N.A.0.4~0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
最大曝光現(xiàn)場22mm*22 mm
對準精度60nm

一、產(chǎn)品概述:

Canon FPA3000 EX4 是一款高性能的步進式光刻機,專為半導體制造業(yè)設計,適用于生產(chǎn)高精度的集成電路。該設備以其良好的成像能力和高生產(chǎn)效率而聞名。

二、設備用途/原理:

Canon FPA3000 EX4 步進式光刻機主要用于半導體制造、微機電系統(tǒng)和光電器件的生產(chǎn)。其工作原理包括使用高強度光源照射涂有光刻膠的硅晶圓,通過光學系統(tǒng)將掩模上的圖案投影到晶圓表面,形成圖案后進行顯影,去除未曝光或已曝光的光刻膠。隨后,圖案被轉移到晶圓材料上,通過刻蝕工藝完成最終圖形的制作,最后去除殘留光刻膠。該設備以其高分辨率和高效的曝光能力,確保了在優(yōu)良制造領域的應用。

三、特色參數(shù):

分辨率

0.25µm

N.A.

0.4~0.6

曝光光源

248nm

倍率

5:1

大曝光現(xiàn)場

22mm*22 mm

對準精度

60nm

四、設備特點

1.高分辨率成像

支持高達 300mm 的晶圓尺寸,能夠實現(xiàn)精確的圖案轉移,滿足優(yōu)良半導體制程的需求。

2.快速掃描速度

采用高效的掃描技術,顯著縮短生產(chǎn)周期,提高生產(chǎn)效率,適合大批量制造。

3.優(yōu)良的光學系統(tǒng)

配備高性能光學元件,確保在復雜圖形上的成像質量和清晰度。

4.用戶友好的操作界面

設計簡潔、直觀,結合自動化功能,降低操作難度,提升用戶體驗。

5.高可靠性與穩(wěn)定性

設備經(jīng)過精心設計,適合長時間連續(xù)運行,降低維護需求和成本。

6.靈活的應用能力

能夠適應多種制造需求,包括集成電路、MEMS 和光電器件等。

7.環(huán)境適應性強

設計考慮到不同的生產(chǎn)環(huán)境,確保在各種條件下均能穩(wěn)定運行。




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