1 產(chǎn)品概述:

   RIBER分子束外延4 英寸中試生產(chǎn)系統(tǒng)是一款專為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)的先進(jìn)設(shè)備，旨在滿足中試生產(chǎn)階段對(duì)高質(zhì)量、高精度晶體沉積的需求。該系統(tǒng)集成了高精度沉積技術(shù)、多源端口設(shè)計(jì)、先進(jìn)的真空系統(tǒng)以及可定制化等特性，為半導(dǎo)體材料的生長(zhǎng)和器件的制造提供了強(qiáng)有力的支持。

2 設(shè)備用途：

1. 工藝驗(yàn)證與優(yōu)化：該系統(tǒng)主要用于驗(yàn)證和優(yōu)化在實(shí)驗(yàn)室小試階段確定的工藝路線和技術(shù)參數(shù)。通過中試生產(chǎn)，可以進(jìn)一步考察工藝的穩(wěn)定性、設(shè)備的可靠性以及產(chǎn)品的質(zhì)量，為后續(xù)的大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)支持和技術(shù)依據(jù)。

2. 材料生長(zhǎng)：RIBER分子束外延4 英寸中試生產(chǎn)系統(tǒng)能夠在襯底上精確沉積各種材料，如GaAs、InP、GaN等，實(shí)現(xiàn)原子層級(jí)的控制，確保薄膜的高質(zhì)量和均勻性。這些材料是制造微電子器件、光電器件等的關(guān)鍵材料。

3. 復(fù)雜結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)：該系統(tǒng)配備的多源端口設(shè)計(jì)使其能夠滿足不同材料的沉積需求，有助于生長(zhǎng)復(fù)雜的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，如量子點(diǎn)、量子阱等，為新型半導(dǎo)體器件的研發(fā)提供可能。

3 設(shè)備特點(diǎn)

  高精度沉積：RIBER分子束外延4 英寸中試生產(chǎn)系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)原子層級(jí)的材料沉積控制，確保薄膜的高質(zhì)量和均勻性。這種高精度沉積能力對(duì)于提高器件性能和可靠性至關(guān)重要。

  多源端口設(shè)計(jì)：該系統(tǒng)可配備多個(gè)源端口，以滿足不同材料的沉積需求。這種設(shè)計(jì)靈活性使得系統(tǒng)能夠生長(zhǎng)多種材料組合和復(fù)雜結(jié)構(gòu)，為半導(dǎo)體器件的多樣化提供了可能。

    先進(jìn)的真空系統(tǒng)：提供高真空環(huán)境，有效減少雜質(zhì)和污染，保證晶體沉積的純度和質(zhì)量。高真空環(huán)境是分子束外延技術(shù)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量沉積的關(guān)鍵因素之一。