化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>wayesvac PECVD等離子增強化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備
wayesvac PECVD等離子增強化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備
參考價 | ¥ 200000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
- 品牌
- 型號 wayesvac
- 產(chǎn)地 北京市
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2016/9/26 16:43:30
- 訪問次數(shù) 844
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維意真空PECVD等離子體增強化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備
*** PE-CVD結(jié)構(gòu)特點介紹:
1、PECVD系列真空管式高溫?zé)Y(jié)爐如圖所示,集控制系統(tǒng)與爐膛為一體;
2、爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料,采用進口高溫合金電阻絲為加熱元件;
3、高純石英管橫穿于爐體中間作為的爐膛,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,工件式樣在管中加熱,加熱元件
與爐管平行,均勻地分布在爐管外,有效的保證了溫場的均勻性;
4、測溫采用性能穩(wěn)定,長壽命的“K”型熱電偶,以提高控溫的精準(zhǔn)性;
5、它是專為高等院校﹑科研院所及工礦企業(yè)對金屬,非金屬及其它化和物材料在氣氛或真空狀態(tài)下進行燒
結(jié)﹑融化﹑分析而研制的設(shè)備;
6、MPECVD系列真空管式爐能夠快速開啟,快速升降溫,方便客戶對特殊材料的裝載,燒制和觀察;
7、爐體的控制面板配有觸摸屏,控制電源開關(guān),配有電源和保險指示燈,以便隨時觀察本系統(tǒng)的工作狀態(tài)。