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FPSEM-ICP200D 等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FPSEM-ICP200D
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/8/1 10:46:32
  • 訪問次數(shù) 754

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孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學技術(shù)為特色,以光學應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進光學技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術(shù)極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設(shè)備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術(shù)儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction,

光:光學/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業(yè)。


公司價值
孚光精儀-精通光學,服務(wù)科學

經(jīng)驗豐富的激光和光學技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認適合應(yīng)用的精密

光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經(jīng)驗和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務(wù)!
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學儀器)

分子生物學

光學儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測試儀器

光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學光學診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

通用

實驗室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學技術(shù)的實驗儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學

生命科學

醫(yī)學成像

制藥

食品工程

化學和化工

 

實驗室儀器實驗室建設(shè)

流體力學

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動機研發(fā)

航空航天

地球物理科學

地質(zhì)和石油勘探


半導體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學

儀器科學與技術(shù)

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應(yīng)商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關(guān),進出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團公司53

清華大學

北京大學

中國科技大學


哈爾濱工業(yè)大學
山東大學
武漢大學
南開大學

天津大學


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飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)是采用PECVD技術(shù)專業(yè)為介質(zhì)膜鍍膜設(shè)計的化學氣相沉積設(shè)備。
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)通過優(yōu)化供氣系統(tǒng),改進了較小的反應(yīng)堆體積,可顯著提高工藝的均勻性和再現(xiàn)性,并減少泵送時間。

由于可以方便地訪問所有內(nèi)部組件,因此

等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)的日常維護變得更加容易。特殊的底電極設(shè)計,為PECVD提供了紅外高溫計精確的晶片加熱控制。
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)等離子體產(chǎn)生采用帶自動匹配單元的平板式ICP源。晶圓放在加熱的工作臺電極上,在這里可以施加高達600W的RF(13,56 MHz)或LF(300÷500 kHz)偏置電壓。在ICP模式下,在加熱臺上使用低頻電勢,確保了在沉積過程中調(diào)節(jié)介質(zhì)膜張力的額外可能性。
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

工藝過程反應(yīng)器中的極限壓力:<5×10

-6Torr

一次性處理晶圓數(shù)量::7個@2'', 4個@3'', 1個×∅200mm, 1個@∅150mm 1個@∅100mm

ICP發(fā)生器最大功率:1200W @13.56MHz

離子束粒(離子能20~300eV): 可選配

襯底支架傾斜180度:  可選配

蝕刻不均性:+/-1% (從中心位置到邊緣,∅100mm)

過程:自動化把晶圓轉(zhuǎn)移到反應(yīng)器中。






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